2003
Study of Plasma Polymerization from Acetylene in Pulsed RF Discharges
ZAJÍČKOVÁ, Lenka, Siegmar RUDAKOWSKI, Hans-Werner BECKER, Dirk MEYER, Miroslav VALTR et. al.Základní údaje
Originální název
Study of Plasma Polymerization from Acetylene in Pulsed RF Discharges
Autoři
ZAJÍČKOVÁ, Lenka (203 Česká republika, garant), Siegmar RUDAKOWSKI (276 Německo), Hans-Werner BECKER (276 Německo), Dirk MEYER (276 Německo), Miroslav VALTR (203 Česká republika) a Klaus WIESEMANN (276 Německo)
Vydání
Thin Solid Films, Oxford, Elsevier, 2003, 0040-6090
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Velká Británie a Severní Irsko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor
Impact factor: 1.598
Kód RIV
RIV/00216224:14310/03:00008062
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova anglicky
Acetylene; Plasma Enhanced CVD (PECVD); Optical properties; Atomic force microscopy
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 17. 7. 2007 17:57, doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
V originále
Plasma polymer films were deposited from an argon and acetylene mixture by plasma enhanced chemical vapor deposition in pulsed radio frequency discharges. The discharge on-time varied from 50 to 150 ms and the off-time was kept constant at 1900 ms. The kinetics of the film growth was studied by in-situ reflectance measurements. The films were further investigated ex-situ by spectroscopic ellipsometry, %in the ultraviolet and the visible (UV/VIS) atomic force microscopy, scanning and transmission electron microscopes. Damages in the films caused by residual stress were investigated with an optical microscope. The hydrogen content and film densities were measured by nuclear resonance reaction analyses. Some film properties namely the residual stress, deposition rate, optical properties and surface roughness were significantly influenced by the duration of the discharge pulses. We found refractive indices of the films in the visible in the range 1.60-1.73. The hydrogen-to-carbon ratio in the films and the film density were about 3:2 and 0.6 g/cm3, respectively.
Česky
Plazmové polymerní vrstvy byly připraveny ze směsi argonu a acetylenu plazmochemickou depozicí z plynné fáze v pulzním vysokofrekvenčním výboji. Doba pulzu "zapnuto" se měnila od 50 do 150 ms doba "vypnuto" byla konstantně 1900 ms. Kinetika růstu vrstev byla studována in-situ měření odrazivosti. Vrstvy byly dále zkoumány ex-situ spektroskopickou elipsometrií, mikroskopií atomárních sil, rastrovacím a transmisním elektronovým mikroskopem. Poškození vrstev způsobené vnitřním pnutím ve vrstvách bylo zkoumáno optickým mikroskopem. Obsah vodíku a hustota vrstev byly stanoveny metodou nukleární rezonanční reakce. Některé vlastnosti vrstev, především vnitřní pnutí, depoziční rychlost, optické vlastnosti a drsnost povrchu byly významně ovlivněny trváním pulzu. Index lomu vrstev ve viditelné oblasti byl v rozsahu 1,60-1,73. Poměr obsahu vodíku ku uhlíku byl 3:2 a hustota vrstev 0,6 g/cm3.
Návaznosti
| GA202/00/P037, projekt VaV |
| ||
| MSM 143100003, záměr |
|