DVOŘÁK, Pavel, Lenka ZAJÍČKOVÁ a Jan JANČA. Mode transition in r.f. capacitive discharge in hydrogen. In Proceedings of 26th ICPIG. Greifswald: Greifswald, 2003, s. 1-2.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Mode transition in r.f. capacitive discharge in hydrogen
Autoři DVOŘÁK, Pavel (203 Česká republika, garant), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika) a Jan JANČA (203 Česká republika).
Vydání Greifswald, Proceedings of 26th ICPIG, od s. 1-2, 2 s. 2003.
Nakladatel Greifswald
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Stať ve sborníku
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Německo
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV RIV/00216224:14330/03:00009028
Organizační jednotka Fakulta informatiky
Klíčová slova anglicky rf capacitive discharges; mode transition; hydrogen
Štítky Hydrogen, mode transition, rf capacitive discharges
Změnil Změnil: RNDr. JUDr. Vladimír Šmíd, CSc., učo 1084. Změněno: 29. 5. 2004 18:37.
Anotace
We have studied low-pressure capacitively coupled rf discharges in hydrogen. Two different discharge modes were observed. These two modes differ significantly in the plasma potential and in the nature of sheaths. For diagnostic purposes the Plasma Process Monitor, optical emission spectroscopy and Lamgmuir probe were used.
Návaznosti
MSM 143100003, záměrNázev: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
VytisknoutZobrazeno: 1. 5. 2024 18:47