Dependence of the Normalized Absorbance of the DLC:SiOx Thin Films on the Flow Rate of HMDSO

VALTR, Miroslav, Lenka ZAJÍČKOVÁ a Vilma BURŠÍKOVÁ. Dependence of the Normalized Absorbance of the DLC:SiOx Thin Films on the Flow Rate of HMDSO. In JUNIORMAT 03. 1. vyd. Brno: ÚMI VUT FSI v Brně ve spolupráci s Českou společností pro nové materiály a technologie, 2003, s. 58-59. ISBN 80-214-2462-1.

Základní údaje

Originální název

Dependence of the Normalized Absorbance of the DLC:SiOx Thin Films on the Flow Rate of HMDSO

Autoři

VALTR, Miroslav (203 Česká republika, garant), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika) a Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika)

Vydání

1. vyd. Brno, JUNIORMAT 03, s. 58-59, 2003

Nakladatel

ÚMI VUT FSI v Brně ve spolupráci s Českou společností pro nové materiály a technologie

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14330/03:00008608

Organizační jednotka

Fakulta informatiky

ISBN

80-214-2462-1

Klíčová slova anglicky

plasma;DLC;films;methane;HMDSO;pecvd;radio frequency;discharge;FTIR;normalized absorbance

Štítky

discharge, DLC, films, FTIR, HMDSO, Methane, normalized absorbance, PECVD, plasma, radio frequency

---

Anotace

V originále

Hard diamond like carbon (DLC) films with an addition of SiOx were deposited by capacitively coupled rf discharges from mixture of methane and hexamethyldisiloxane (HMDSO). The flow rate was changed in order to vary the SiOx content in the films. Thickness of the films was determined by ellipsometry. FTIR spectra showed presence of C-H bonds as well as silicon bonded to hydrogen and hydrocarbon groups. In the region 630-900 cm-1 normalized absorbance was computed. It is shown that the concentration of silicon containing bonds grows with the flow rate of HMDSO growing.

---

Návaznosti

GA202/00/P037, projekt VaV	Název: Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu Investor: Grantová agentura ČR, Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
MSM 143100003, záměr	Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek