2003
Raman bands in microwave plasma assisted chemical vapour deposited films
KADLEČÍKOVÁ, Magdaléna, Juraj BREZA, Marián VESELÝ, Zdeněk FRGALA, Vít KUDRLE et. al.Základní údaje
Originální název
Raman bands in microwave plasma assisted chemical vapour deposited films
Autoři
KADLEČÍKOVÁ, Magdaléna (703 Slovensko), Juraj BREZA (703 Slovensko), Marián VESELÝ (703 Slovensko), Zdeněk FRGALA (203 Česká republika, garant, domácí), Vít KUDRLE (203 Česká republika, domácí), Jan JANČA (203 Česká republika, domácí), Ján JANÍK (703 Slovensko) a Jiří BURŠÍK (203 Česká republika)
Vydání
Microelectronics Journal, 2003, 0026-2692
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Velká Británie a Severní Irsko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor
Impact factor: 0.565
Kód RIV
RIV/00216224:14330/03:00008609
Organizační jednotka
Fakulta informatiky
UT WoS
000186534500013
Klíčová slova anglicky
Microwave plasma assisted chemical vapour deposition; Diamond; Raman spectroscopy
Štítky
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 27. 4. 2013 11:21, prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D.
Anotace
V originále
Raman spectroscopy is employed to characterize thin diamond films deposited by microwave plasma assisted chemical vapour deposition technique using a gas mixture of methane and hydrogen. The surface morfology of the films was analyzed by scanning electron microscopy. We have identified submicron crystals on (100) facets of diamond crystals which gave rise to bands in the Raman spectrum centred at 1170 and 1456 cm-1.
Návaznosti
| MSM 143100003, záměr |
| ||
| OC 527.20, projekt VaV |
|