Electrical conductivity of Si incorporated diamond-like carbon films deposited by PECVD

FRANCLOVÁ, Jana a Vilma BURŠÍKOVÁ. Electrical conductivity of Si incorporated diamond-like carbon films deposited by PECVD. In Juniormat 2003. 1. vyd. Brno: Brno University of Technology, Faculty of Mechanical Engeneering, 2003, s. 266 - 267. ISBN 80-214-2462-1.

Základní údaje

Originální název

Electrical conductivity of Si incorporated diamond-like carbon films deposited by PECVD

Název česky

Elektrická vodivost diamantupodobných vrstev připravených PECVD

Autoři

FRANCLOVÁ, Jana (203 Česká republika) a Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, garant)

Vydání

1. vyd. Brno, Juniormat 2003, od s. 266 - 267, 2 s. 2003

Nakladatel

Brno University of Technology, Faculty of Mechanical Engeneering

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/03:00021185

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

80-214-2462-1

Klíčová slova anglicky

PECVD; HMDSO; Electrical conductivity

Štítky

Electrical Conductivity, HMDSO, PECVD

---

Anotace

V originále

Electrical conductivity of Si incorporated diamond - like carbon films deposited by PECVD

Česky

Elektrická vodivost tenkých vrstev připravených PECVD

---

Návaznosti

ME 489, projekt VaV

Název: Studium reaktivity organosilikonových monomerů v depozičním plazmatu