BIBINOV, Nikita, Vít KUDRLE, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Zoltan DONKO a Klaus WIESEMANN. Film deposition in Parallel Plate RF Discharges Containing Hydrocarbons. In Proceedings of ISPC 14. Taormina: Universita di Bari, 2003, s. 806-809.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Film deposition in Parallel Plate RF Discharges Containing Hydrocarbons
Autoři BIBINOV, Nikita (276 Německo), Vít KUDRLE (203 Česká republika, garant), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika), Zoltan DONKO (348 Maďarsko) a Klaus WIESEMANN (276 Německo).
Vydání Taormina, Proceedings of ISPC 14, s. 806-809, 2003.
Nakladatel Universita di Bari
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Stať ve sborníku
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Itálie
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV RIV/00216224:14310/03:00008476
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova anglicky PECVD; negative ions; acethylene
Štítky acethylene, negative ions, PECVD
Příznaky Mezinárodní význam
Změnil Změnil: prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D., učo 2560. Změněno: 25. 6. 2007 16:53.
Anotace
Film deposition in Paralle Plate RF Discharges Containing Hydrocarbons
Návaznosti
GP202/01/P106, projekt VaVNázev: Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
Investor: Grantová agentura ČR, Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
MSM 143100003, záměrNázev: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
VytisknoutZobrazeno: 26. 8. 2024 07:10