Film deposition in Parallel Plate RF Discharges Containing Hydrocarbons

BIBINOV, Nikita, Vít KUDRLE, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Zoltan DONKO a Klaus WIESEMANN. Film deposition in Parallel Plate RF Discharges Containing Hydrocarbons. In Proceedings of ISPC 14. Taormina: Universita di Bari, 2003, s. 806-809.

Základní údaje

Originální název

Film deposition in Parallel Plate RF Discharges Containing Hydrocarbons

Autoři

BIBINOV, Nikita (276 Německo), Vít KUDRLE (203 Česká republika, garant), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika), Zoltan DONKO (348 Maďarsko) a Klaus WIESEMANN (276 Německo)

Vydání

Taormina, Proceedings of ISPC 14, s. 806-809, 2003

Nakladatel

Universita di Bari

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Itálie

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/03:00008476

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

PECVD; negative ions; acethylene

Štítky

acethylene, negative ions, PECVD

Příznaky

Mezinárodní význam

---

Anotace

V originále

Film deposition in Paralle Plate RF Discharges Containing Hydrocarbons

---

Návaznosti

GP202/01/P106, projekt VaV	Název: Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie Investor: Grantová agentura ČR, Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
MSM 143100003, záměr	Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek