Deposition of Hard carbon films and Its Diagnostics
FRGALA, Zdeněk, Vít KUDRLE a Jan JANČA. Deposition of Hard carbon films and Its Diagnostics. In Proceedings of the XIVth SAPP. Bratislava: MFF UK, 2003, s. 154-155. ISBN 80-8040-195-0. |
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
|
Základní údaje | |
---|---|
Originální název | Deposition of Hard carbon films and Its Diagnostics |
Autoři | FRGALA, Zdeněk (203 Česká republika, garant), Vít KUDRLE (203 Česká republika) a Jan JANČA (203 Česká republika). |
Vydání | Bratislava, Proceedings of the XIVth SAPP, s. 154-155, 2003. |
Nakladatel | MFF UK |
Další údaje | |
---|---|
Originální jazyk | angličtina |
Typ výsledku | Stať ve sborníku |
Obor | 10305 Fluids and plasma physics |
Stát vydavatele | Slovensko |
Utajení | není předmětem státního či obchodního tajemství |
Kód RIV | RIV/00216224:14310/03:00008477 |
Organizační jednotka | Přírodovědecká fakulta |
ISBN | 80-8040-195-0 |
Klíčová slova anglicky | Diamond; microwave plasma CVD |
Štítky | Diamond, microwave plasma CVD |
Příznaky | Mezinárodní význam |
Změnil | Změnil: prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D., učo 2560. Změněno: 5. 1. 2007 12:49. |
Anotace |
---|
We studied the growth of microcrystalline diamond films on pre-treated Si and WC-Co substrates by microwave plasma chemical vapour deposition (MPCVD). The pre-treatment was varied and its effect on diamond film was studied. |
Návaznosti | |
---|---|
GP202/01/P106, projekt VaV | Název: Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie |
Investor: Grantová agentura ČR, Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie | |
ME 367, projekt VaV | Název: Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů | |
MSM 143100003, záměr | Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek | |
OC 527.20, projekt VaV | Název: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů |
VytisknoutZobrazeno: 6. 10. 2024 08:40