2003
Characterization of thin films non-uniform in optical parameters by spectroscopic digital reflectometry
OHLÍDAL, Ivan, Miloslav OHLÍDAL, Petr KLAPETEK, Vladimír ČUDEK, Miloš JÁKL et. al.Základní údaje
Originální název
Characterization of thin films non-uniform in optical parameters by spectroscopic digital reflectometry
Autoři
OHLÍDAL, Ivan (203 Česká republika, garant), Miloslav OHLÍDAL (203 Česká republika), Petr KLAPETEK (203 Česká republika), Vladimír ČUDEK (203 Česká republika) a Miloš JÁKL (203 Česká republika)
Vydání
Proceedings of SPIE, Bellingham, SPIE, 2003, 0277-786X
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10306 Optics
Stát vydavatele
Spojené státy
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV
RIV/00216224:14310/03:00008532
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000189405800028
Klíčová slova anglicky
fims nonuniform in optical parameters; optical characterization
Štítky
Změněno: 20. 12. 2004 12:02, prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.
Anotace
V originále
In this paper, a new optical method for characterizing nonuniform thin films is employed. For applying this method the special experimental arrangement containing CCD camera as a detector is used. Using this experimental arrangement the spectral dependences of the local reflectances are obtained. After treating these experimental data the distributions of the values of the local thicknesses and local refractive index along a large areas of the substrates of the nonuniform films are found. Moreover, it is shown that this method can be used to determine strong nonuniformities in both the optical parameters.
Návaznosti
| GA101/01/1104, projekt VaV |
| ||
| GA202/01/1110, projekt VaV |
|