2004
Optical Properties of Diamond-Like Carbon Films Containing SiOx Studied by the Combined Method of Spectroscopic Ellipsometry and Spectroscopic Reflectometry
FRANTA, Daniel, Ivan OHLÍDAL, Vilma BURŠÍKOVÁ a Lenka ZAJÍČKOVÁZákladní údaje
Originální název
Optical Properties of Diamond-Like Carbon Films Containing SiOx Studied by the Combined Method of Spectroscopic Ellipsometry and Spectroscopic Reflectometry
Název česky
Optické vlastnosti diamantu podobných uhlíkových vrstev obsahujících SiOx studované kombinovanou optickou metodou spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie
Autoři
FRANTA, Daniel (203 Česká republika, garant), Ivan OHLÍDAL (203 Česká republika), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika) a Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika)
Vydání
Thin Solid Films, Oxford, UK, Elsevier science, 2004, 0040-6090
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Velká Británie a Severní Irsko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Odkazy
Impakt faktor
Impact factor: 1.647
Kód RIV
RIV/00216224:14310/04:00010137
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000185308900015
Klíčová slova anglicky
Ellipsometry; Reflection; Optical properties; Amorphous materials
Změněno: 16. 2. 2005 17:55, prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.
V originále
In this paper the results of the study of the optical properties of diamond like carbon films with different amount of SiOx prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition from a mixture of metane and hexamethyldisiloxane onto silicon substrates will be presented. These results have been obtained using the combined method based on a simultaneous interpretation of experimental data achieved with variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry within the near-UV and visible regions. For interpreting the experimental data our new dispersion model of the optical constants based on the parameterization of the density of electronic states has been employed. Within this model the new analytical three parameter dispersion formula has been derived. These three parameters are proportional to the pi and sigma valence electron densities.
Česky
V článku budou uvedeny výsledky studia optických vlastností diamantu podobných uhlíkových vrstev s různým množstvím SiOx připravených plasmově podporovanou chemickou deposicí ze směsi metanu a hexamethyldisiloxanu na křemíkové podložky. Tyto výsledky jsou dosaženy pomocí kombinované metody založené na současné interpretaci experimentálních dat obdržených pomocí úhlově proměnné spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie aplikované při téměř kolmém dopadu světla v blízké ultrafialové a viditelné oblasti spektra. Pro interpretaci experimentálních dat byl využit náš nový dispersní model optických konstant založený na parametrizaci hustoty elektronových stavů. V rámci tohoto modelu je odvozena nová analytická tříparametrická dispersní formule. Tyto tři parametry jsou úměrné hustotám pí a sigma valenčních elektronů.
Návaznosti
| GA202/01/1110, projekt VaV |
| ||
| GA202/98/0988, projekt VaV |
| ||
| MSM 143100003, záměr |
|