Diagnostics of surfatron-generated plasma by probe measurements
and emission spectroscopy

J 2004

Diagnostics of surfatron-generated plasma by probe measurements and emission spectroscopy

STRAŇÁK, Vítězslav, Pavel SLAVÍČEK, Zdeněk NAVRÁTIL, Petr ADÁMEK, Milan TICHÝ et. al.

Základní údaje

Originální název

Diagnostics of surfatron-generated plasma by probe measurements and emission spectroscopy

Autoři

STRAŇÁK, Vítězslav (203 Česká republika, garant), Pavel SLAVÍČEK (203 Česká republika), Zdeněk NAVRÁTIL (203 Česká republika), Petr ADÁMEK (203 Česká republika), Milan TICHÝ (203 Česká republika), Petr ŠPATENKA (203 Česká republika) a David TRUNEC (203 Česká republika)

Vydání

Czech. J. Phys. Praha, Institute of Physics Academy of Sciences, 2004, 0011-4626

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Impakt faktor

Impact factor: 0.292

Kód RIV

RIV/00216224:14310/04:00028901

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000226745800023

Klíčová slova anglicky

microwave plasma; surfatron; probe diagnostics; optical emission spectroscopy

Štítky

microwave plasma, optical emission spectroscopy, probe diagnostics, surfatron

Změněno: 19. 12. 2006 12:38, doc. Mgr. Zdeněk Navrátil, Ph.D.

Anotace

V originále

Applications of plasma sources in technology, medicine and biomedicine are already known for a long time. Our work is focused on diagnostics and applications of a microwave plasma source in these areas. The diagnosed microwave-driven plasma source consists of a surfatron powered by a microwave magnetron generator, working at 2.45 GHz in the output power range (0 - 300) W, which creates plasma from the working gas flowing through the quartz nozzle. We present results of diagnostics of generated plasma at nozzle exit at different experimental conditions: variable absorbed power, total chamber pressure etc. The diagnostics of plasma column was performed by means of double Langmuir probe measurement and optical emission spectroscopy.

Návaznosti

GA202/02/0880, projekt VaV

Název: Depozice tenkých vrstev a modifikace povrchů v tichém a doutnavém výboji za atmosférického tlaku

Investor: Grantová agentura ČR, Depozice tenkých vrstev a modifikace povrchů v tichém a doutnavém výboji za atmosférického tlaku

MSM 143100003, záměr

Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Citovat

STRAŇÁK, Vítězslav, Pavel SLAVÍČEK, Zdeněk NAVRÁTIL, Petr ADÁMEK, Milan TICHÝ, Petr ŠPATENKA a David TRUNEC. Diagnostics of surfatron-generated plasma by probe measurements and emission spectroscopy. Czech. J. Phys. Praha: Institute of Physics Academy of Sciences, 2004, roč. 2004, č. 54, s. C970-C975, 6 s. ISSN 0011-4626.

@article{555948,
   author = {Straňák, Vítězslav and Slavíček, Pavel and Navrátil, Zdeněk and Adámek, Petr and Tichý, Milan and Špatenka, Petr and Trunec, David},
   article_location = {Praha},
   article_number = {54},
   keywords = {microwave plasma; surfatron; probe diagnostics; optical emission spectroscopy},
   language = {eng},
   issn = {0011-4626},
   journal = {Czech. J. Phys.},
   title = {Diagnostics of surfatron-generated plasma by probe measurements and emission spectroscopy},
   volume = {2004},
   year = {2004}
}

TY  - JOUR
ID  - 555948
AU  - Straňák, Vítězslav - Slavíček, Pavel - Navrátil, Zdeněk - Adámek, Petr - Tichý, Milan - Špatenka, Petr - Trunec, David
PY  - 2004
TI  - Diagnostics of surfatron-generated plasma by probe measurements and emission spectroscopy
JF  - Czech. J. Phys.
VL  - 2004
IS  - 54
SP  - C970-C975
EP  - C970-C975
PB  - Institute of Physics Academy of Sciences
SN  - 00114626
KW  - microwave plasma
KW  - surfatron
KW  - probe diagnostics
KW  - optical emission spectroscopy
N2  - Applications of plasma sources in technology, medicine and biomedicine are already known for a long time. Our work is focused on diagnostics and applications of a microwave plasma source in these areas. The diagnosed microwave-driven plasma source consists of a surfatron powered by a microwave magnetron generator, working at 2.45 GHz in the output power range (0 - 300) W, which creates plasma from the working gas flowing through the quartz nozzle. We present results of diagnostics of generated plasma at nozzle exit at different experimental conditions: variable absorbed power, total chamber pressure etc. The diagnostics of plasma column was performed by means of double Langmuir probe measurement and optical emission spectroscopy.
ER  -

STRAŇÁK, Vítězslav, Pavel SLAVÍČEK, Zdeněk NAVRÁTIL, Petr ADÁMEK, Milan TICHÝ, Petr ŠPATENKA a David TRUNEC. Diagnostics of surfatron-generated plasma by probe measurements and emission spectroscopy. \textit{Czech. J. Phys.}. Praha: Institute of Physics Academy of Sciences, 2004, roč.~2004, č.~54, s.~C970-C975, 6 s. ISSN~0011-4626.

Podrobný výpis o publikaci