VAŠINA, Petr, Marcel MEŠKO, Jean-Christiphe IMBERT, Ludovic DE POUCQUEC, Lionel TEULE-GAY, Caroline BOISSE-LAPORTE, Jean BRETAGNE, Daniel PAGNON, Michel TOUZEAU a MIhai GANCIU. Spectroscopic analysis of a pulsed magnetron discharge. In Proceeding of Seventeenth European Conference on Atomic & Molecular Physics of Ionized Gases. Constanta, 2004, s. 117-118.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Spectroscopic analysis of a pulsed magnetron discharge
Název česky Spektroskopická analýsa pulzního magnetronového výboje
Název anglicky Spectroscopic analysis of a pulsed magnetron discharge
Autoři VAŠINA, Petr, Marcel MEŠKO, Jean-Christiphe IMBERT, Ludovic DE POUCQUEC, Lionel TEULE-GAY, Caroline BOISSE-LAPORTE, Jean BRETAGNE, Daniel PAGNON, Michel TOUZEAU a MIhai GANCIU.
Vydání Constanta, Proceeding of Seventeenth European Conference on Atomic & Molecular Physics of Ionized Gases, od s. 117-118, 2 s. 2004.
Další údaje
Typ výsledku Stať ve sborníku
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
UT WoS 000232894100028
Klíčová slova anglicky pulsed magnetron; spectroscopy
Štítky pulsed magnetron, spectroscopy
Změnil Změnil: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782. Změněno: 13. 1. 2005 12:24.
Anotace
To investigate the generation and transport of ions during and after a high power current pulse applied on magnetron cathode used for IPVD, we performed spectroscopic measurement with time and space resolution. Two microwave antennas placed between target and substrate ensure proper condition of current pulse developement, ion transport and by re-excitating of sputtered species, allows spectroscopic emission measurements of species transport toward the substrate.
Anotace česky
Optická emisní spektroskopie byla použita k sledování generace a transportu částic v IPVD reaktoru. Mezi magnetronem a substrátem byly umístěny dvě mikrovlnné antény, které napomáhaly spravnému vývoji proudového pulzu a navíc, re-excitovali rozprášené částice, které se pohybovali směrem k substratu. Transport pal bylo možno sledovat optickou emisní spektroskopií.
Anotace anglicky
To investigate the generation and transport of ions during and after a high power current pulse applied on magnetron cathode used for IPVD, we performed spectroscopic measurement with time and space resolution. Two microwave antennas placed between target and substrate ensure proper condition of current pulse developement, ion transport and by re-excitating of sputtered species, allows spectroscopic emission measurements of species transport toward the substrate.
VytisknoutZobrazeno: 13. 5. 2024 00:23