Detailed Information on Publication Record
2004
Mechanical stresses studied by optical methods in diamond-like carbon films containing Si and O
OHLÍDAL, Ivan, Miloslav OHLÍDAL, Daniel FRANTA, Vladimír ČUDEK, Vilma BURŠÍKOVÁ et. al.Basic information
Original name
Mechanical stresses studied by optical methods in diamond-like carbon films containing Si and O
Name in Czech
Mechanická napětí v diamantu podobných uhlíkových vrstvách obsahující Si a O studovaná pomocí optických metod
Authors
OHLÍDAL, Ivan (203 Czech Republic, guarantor), Miloslav OHLÍDAL (203 Czech Republic), Daniel FRANTA (203 Czech Republic), Vladimír ČUDEK (203 Czech Republic), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Czech Republic) and Martin ŠILER (203 Czech Republic)
Edition
Bellingham, Washington, USA, SPIE's 49th Annual Meeting, p. 139-147, 9 pp. 2004
Publisher
SPIE - The International Society for Optical Engineering
Other information
Language
English
Type of outcome
Stať ve sborníku
Field of Study
10302 Condensed matter physics
Country of publisher
United States of America
Confidentiality degree
není předmětem státního či obchodního tajemství
References:
RIV identification code
RIV/00216224:14310/04:00010888
Organization unit
Faculty of Science
ISBN
0-8194-5465-6
UT WoS
000224726900015
Keywords in English
DLC films; mechanical stress; two-beam interferometry
Změněno: 3/2/2006 17:57, Mgr. Daniel Franta, Ph.D.
V originále
In this paper the quantitative dependence of the mechanical stress inside diamond-like carbon films containing Si and O atoms on a flow rate ratio of methane CH4 and hexamethyldisiloxane C6H18Si2O in the deposition mixture is determined. For this purpose the modified Stoney's formula is employed. The important quantities taking place in this formula, i.e. the radius of curvature of the spherical surface of a deformed silicon substrate because of the film stress and the film thickness, are determined using the combined optical method based on two-beam interferometry, variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry. It is shown that the influence of the flow rate ratio on the values of the mechanical stresses taking place inside these films is negligible within the experimental accuracy achieved for determining these stresses if the total flow rate of gases used to be constant in the deposition mixture. A discussion of this fact is also performed. The film studied were prepared using the plasma enhanced chemical vapor deposition.
In Czech
V tomto článku je určena kvantitativní závislost mechanických napětí uvnitř diamantu podobných uhlíkových vrstev obsahujících Si a O na poměru průtoků metanu a hexamethyldisiloxanu v deposiční směsi. Pro tento účel je využita modifikovaná Stoneyova formule. Významné veličiny vyskytující se v této formuli, tj. poloměr křivosti sférického povrchu křemíkové podložky deformované kvůli napětí ve vrstvě a tloušťka vrstvy, jsou určeny pomocí dvoupaprskové interference, víceúhlové spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie aplikované při kolmém dopadu světla. Je ukázáno, že vliv poměru průtoků na hodnoty mechanického napětí uvnitř vrstev je zanedbatelný v rámci experimentální přesnosti dosažené při určení tohoto napětí, pokud celkový tok plynů v deposiční směsi je konstantní. Diskuse této skutečnosti je také provedena. Studované vrstvy byly připraveny pomocí plasmově podporované chemické deposice.
Links
| GA101/04/2131, research and development project |
| ||
| MSM 143100003, plan (intention) |
|