D 2004

Infrared Absorption Spectroscopy of Oxygen Precipitates in Czochralski Silicon

ŠTOUDEK, Richard a Josef HUMLÍČEK

Základní údaje

Originální název

Infrared Absorption Spectroscopy of Oxygen Precipitates in Czochralski Silicon

Název česky

Infračervená absorpční spektroskopie kyslíkových precipitátů v Czochralského křemíku

Autoři

ŠTOUDEK, Richard (203 Česká republika, garant) a Josef HUMLÍČEK (203 Česká republika)

Vydání

Praha, Česká republika, WDS'04 Proceedings of Contributed Papers, od s. 475-479, 4 s. 2004

Nakladatel

MATFYZPRESS

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/04:00010936

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

80-86732-32-0

Klíčová slova anglicky

Infrared; Silicon; Oxygen; Precipitates

Štítky

Změněno: 10. 2. 2005 13:43, Mgr. Richard Štoudek, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

We have analysed infrared transmittance spectra of Czochralski silicon. Using measurements at liquid nitrogen temperature we have identified the contribution of oxygen precipitates. The continuum theory of average dielectric constant has been used to determine the shape and volume fraction of these particles.

Česky

Analyzovali jsme infračervená spektra propustnosti Czochralského křemíku. Díky měrení na teplotě kapalného dusíku jsme identifikovali příspěvek kyslíkových precipitátů. Pro určení tvaru a objemového podílu těchto částic byl použit model efektivního prostředí.

Návaznosti

MSM 143100002, záměr
Název: Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur