2005
The Role of Secondary Electrons in Low Pressure RF Discharge via Computer Simulation
BRZOBOHATÝ, Oto a David TRUNECZákladní údaje
Originální název
The Role of Secondary Electrons in Low Pressure RF Discharge via Computer Simulation
Název česky
Role sekundárních elektronů v nizkotlakém rf výboji pomocí počítačové simulace
Autoři
BRZOBOHATÝ, Oto (203 Česká republika, garant) a David TRUNEC (203 Česká republika)
Vydání
Podbanske, Slovakia, SAPP XV, od s. 135-137, 2 s. 2005
Nakladatel
Karol Hensel
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Slovensko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV
RIV/00216224:14310/05:00025502
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
80-223-2018-8
Klíčová slova anglicky
secondary electrons; computer simulation
Změněno: 23. 6. 2009 13:56, prof. RNDr. David Trunec, CSc.
V originále
In this contribution we present a study of the role of secondary electrons in low pressure RF discharge via computer simulation. We have used particle simulation Particle In Cell Monte Carlo (PIC-MC) method. We have shown that the secondary electron emission coefficient (SEC) of electrodes affects plasma density. The change of the SEC from 0.1 to 0.2 induces an increase of plasma density up to 30%. We determined that about 30 % of all electrons in plasma are secondary electrons and electrons created in ionization collisions of secondary electrons. More than half of all ions in plasma are ions, created in ionization collisions of secondary electrons. We have calculated many further characteristics of secondary particles.
Česky
V příspěvku uvádíme studium role sekundárních elektronů v nízkotlakém RF výboji pomocí počitačové simulace. Pro simulaci jsme užili částicovou simulaci (Particle In Cell-Monte Carlo). Ukazali jsme, že koeficient sekundární emise (SEC) elektrod výrazně ovlivnuje plazma. Změna SEC o 0,1 vyvolá nárůst hustoty plazmatu až o 30%. Ukázali jsem, že okolo 30% elektronů jsou sekundárních elektronů a elektronů vytvořených ionizačníma srážkama sekundárních elektronů. Více než polovina všech iontů v systému je tvořena ionty vzniklými z ionizačních srážek sekundárních elektronů.
Návaznosti
| MSM0021622411, záměr |
|