J 2005

Study of carbon films on silicon substrate

JAŠEK, Ondřej, Marek ELIÁŠ a Zdeněk FRGALA

Základní údaje

Originální název

Study of carbon films on silicon substrate

Název česky

Studium uhlíkových vrstem na křemíkových vrstvách

Autoři

JAŠEK, Ondřej (203 Česká republika, garant), Marek ELIÁŠ (203 Česká republika) a Zdeněk FRGALA (203 Česká republika)

Vydání

Material Science Forum, Switzerland, Trans Tech Publications, 2005, 0255-5476

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Švýcarsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

Impakt faktor

Impact factor: 0.399

Kód RIV

RIV/00216224:14310/05:00013692

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000228329200039

Klíčová slova anglicky

high resolution scanning microscopy; carbon nanostructures; diamond; nanotubes

Štítky

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 11. 12. 2006 13:32, Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

Carbon based films on silicon substrates have been studied by high resolution FE SEM equipped by an EDS analyzer. The first type are carbon nanotube (CNT) films prepared on Si/SiO2 substrates with Ni or Fe layers by radiofrequency plasma chemical vapor deposition. Dependence of nanotube films properties on Ni and Fe thickness and deposition conditions have been studied. The second type of films discussed are microcrystalline and nanocrystalline diamond films grown on pre-treated Si substrates by microwave plasma chemical vapor deposition (MPCVD). The pre-treatment was varied and its effect on diamond films was studied.

Česky

Tenké uhlíkové vrstvy na křemíkových substrátech byly studovány pomocí FE SEM s EDS analyzátorem. Prvním typem jsou vrsty uhlíkových nanotrubek (CNT) připravené na Si/SiO2 substrátech s vrstvou Fe nebo Ni metodou RF-CVD. Byly zkoumány vlastnosti vrstev na tloušťce Fe a Ni vrstev a depozičních podmínkách. Dalším druhem vrstev jsou vrstvy tvořené mikro- a nanokrystalickými diamanty. Tyto vrstvy byly přepraveny na předem ošetřených křemíkových substrátech metodou MPCVD. Hlavním bodem studia vrstev je vliv ošetření vrstem a jeho parametrů na výslednou diamantovou vrstvu.

Návaznosti

MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek