J 2005

Study of carbon films on silicon substrate

JAŠEK, Ondřej, Marek ELIÁŠ and Zdeněk FRGALA

Basic information

Original name

Study of carbon films on silicon substrate

Name in Czech

Studium uhlíkových vrstem na křemíkových vrstvách

Authors

JAŠEK, Ondřej (203 Czech Republic, guarantor), Marek ELIÁŠ (203 Czech Republic) and Zdeněk FRGALA (203 Czech Republic)

Edition

Material Science Forum, Switzerland, Trans Tech Publications, 2005, 0255-5476

Other information

Language

English

Type of outcome

Článek v odborném periodiku

Field of Study

10305 Fluids and plasma physics

Country of publisher

Switzerland

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

References:

Impact factor

Impact factor: 0.399

RIV identification code

RIV/00216224:14310/05:00013692

Organization unit

Faculty of Science

UT WoS

000228329200039

Keywords in English

high resolution scanning microscopy; carbon nanostructures; diamond; nanotubes

Tags

Tags

International impact, Reviewed
Změněno: 11/12/2006 13:32, Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.

Abstract

ORIG CZ

V originále

Carbon based films on silicon substrates have been studied by high resolution FE SEM equipped by an EDS analyzer. The first type are carbon nanotube (CNT) films prepared on Si/SiO2 substrates with Ni or Fe layers by radiofrequency plasma chemical vapor deposition. Dependence of nanotube films properties on Ni and Fe thickness and deposition conditions have been studied. The second type of films discussed are microcrystalline and nanocrystalline diamond films grown on pre-treated Si substrates by microwave plasma chemical vapor deposition (MPCVD). The pre-treatment was varied and its effect on diamond films was studied.

In Czech

Tenké uhlíkové vrstvy na křemíkových substrátech byly studovány pomocí FE SEM s EDS analyzátorem. Prvním typem jsou vrsty uhlíkových nanotrubek (CNT) připravené na Si/SiO2 substrátech s vrstvou Fe nebo Ni metodou RF-CVD. Byly zkoumány vlastnosti vrstev na tloušťce Fe a Ni vrstev a depozičních podmínkách. Dalším druhem vrstev jsou vrstvy tvořené mikro- a nanokrystalickými diamanty. Tyto vrstvy byly přepraveny na předem ošetřených křemíkových substrátech metodou MPCVD. Hlavním bodem studia vrstev je vliv ošetření vrstem a jeho parametrů na výslednou diamantovou vrstvu.

Links

MSM 143100003, plan (intention)
Name: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study of plasmachemical reactions in non-isothermic low pressure plasma and its interaction with the surface of solid substrates