2005
Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech
BURŠÍKOVÁ, Vilma, Jan SOBOTA, Jiří BURŠÍK a Vladislav NAVRÁTILZákladní údaje
Originální název
Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech
Název česky
Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech
Název anglicky
Mechanical properties of PCVD thin solid films on various substrates
Autoři
BURŠÍKOVÁ, Vilma (203 Česká republika, garant), Jan SOBOTA (203 Česká republika), Jiří BURŠÍK (203 Česká republika) a Vladislav NAVRÁTIL (203 Česká republika)
Vydání
I. Košice, 1. Slovensko - Český seminár "Lokálne mechanické vlastnosti" od s. 1-17, 17 s. 2005
Nakladatel
Hutnícka fakulta TU v Košiciach
Další údaje
Jazyk
čeština
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Slovensko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV
RIV/00216224:14310/05:00012468
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
80-8073-235-3
Klíčová slova anglicky
Thin solid films; microhardness; low temperature plasma
Příznaky
Recenzováno
Změněno: 8. 2. 2008 19:30, doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.
V originále
Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech byly zkoumány pomocí metody Depth Sensing Indentation a zkoumána závislost mikrotvrdosti a Youngova modulu na složení a teplotě plazmatu.
Anglicky
Mechanical properties of plasma deposited thin films on different substrates were investigated by mens of Depth Sensing Indentation method. The dependence on various parameters and temperature was studied.
Návaznosti
| GA106/05/0274, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|