Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech

BURŠÍKOVÁ, Vilma, Jan SOBOTA, Jiří BURŠÍK and Vladislav NAVRÁTIL. Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech (Mechanical properties of PCVD thin solid films on various substrates). In 1. Slovensko - Český seminár "Lokálne mechanické vlastnosti". I. Košice: Hutnícka fakulta TU v Košiciach, 2005, p. 1-17. ISBN 80-8073-235-3.

Basic information

Original name

Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech

Name in Czech

Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech

Name (in English)

Mechanical properties of PCVD thin solid films on various substrates

Authors

BURŠÍKOVÁ, Vilma (203 Czech Republic, guarantor), Jan SOBOTA (203 Czech Republic), Jiří BURŠÍK (203 Czech Republic) and Vladislav NAVRÁTIL (203 Czech Republic)

Edition

I. Košice, 1. Slovensko - Český seminár "Lokálne mechanické vlastnosti" p. 1-17, 17 pp. 2005

Publisher

Hutnícka fakulta TU v Košiciach

---

Other information

Language

Czech

Type of outcome

Stať ve sborníku

Field of Study

10302 Condensed matter physics

Country of publisher

Slovakia

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

RIV identification code

RIV/00216224:14310/05:00012468

Organization unit

Faculty of Science

ISBN

80-8073-235-3

Keywords in English

Thin solid films; microhardness; low temperature plasma

Tags

low temperature plasma, Microhardness, Thin solid films

Tags

Reviewed

---

Abstract

V originále

Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech byly zkoumány pomocí metody Depth Sensing Indentation a zkoumána závislost mikrotvrdosti a Youngova modulu na složení a teplotě plazmatu.

In English

Mechanical properties of plasma deposited thin films on different substrates were investigated by mens of Depth Sensing Indentation method. The dependence on various parameters and temperature was studied.

---

Links

GA106/05/0274, research and development project	Name: Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů Investor: Czech Science Foundation, Multiscale approach to relationships between mechanical and microstructural characteristics of materials
MSM0021622411, plan (intention)	Name: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study and application of plasma chemical reactions in non-isothermic low temperature plasma and its interaction with solid surface