Fourier components of plasma potential in hydrogen capacitively coupled rf discharge
DVOŘÁK, Pavel a Jan JANČA. Fourier components of plasma potential in hydrogen capacitively coupled rf discharge. In Proceedings of XXVII International Conference on Phenomena in Ionized Gases. Eindhoven: Eindhoven University of Technology, 2005, s. 06-338, 4 s. ISBN 90-386-2231-7. |
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
|
Základní údaje | |
---|---|
Originální název | Fourier components of plasma potential in hydrogen capacitively coupled rf discharge |
Název česky | Fourierovy složky potenciálu plazmatu vodíkového kapacitně vázaného rf. výboje |
Autoři | DVOŘÁK, Pavel (203 Česká republika, garant) a Jan JANČA (203 Česká republika). |
Vydání | Eindhoven, Proceedings of XXVII International Conference on Phenomena in Ionized Gases, od s. 06-338, 4 s. 2005. |
Nakladatel | Eindhoven University of Technology |
Další údaje | |
---|---|
Originální jazyk | angličtina |
Typ výsledku | Stať ve sborníku |
Obor | 10305 Fluids and plasma physics |
Stát vydavatele | Nizozemské království |
Utajení | není předmětem státního či obchodního tajemství |
Kód RIV | RIV/00216224:14310/05:00012564 |
Organizační jednotka | Přírodovědecká fakulta |
ISBN | 90-386-2231-7 |
Klíčová slova anglicky | plasma potential harmonic hydrogen |
Štítky | plasma potential harmonic hydrogen |
Změnil | Změnil: doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D., učo 16711. Změněno: 8. 8. 2005 15:09. |
Anotace |
---|
We measured the amplitudes of the fundamental and higher harmonics of the plasma potential in a low-pressure high frequency (13.56 MHz) hydrogen capacitively coupled discharge. Their dependencies on the position in the discharge and pressure are presented. |
Anotace česky |
---|
Měřili jsme amplitudy základní a vyšších harmonických frekvencí potenciálu plazmatu v nízkotlakém, vysokofrekvenčním (13,56 MHz), kapaciteně vázaném vodíkovém výboji. Publikujeme jejich závislosti na poloze ve výboji a na tlaku. |
Návaznosti | |
---|---|
GD202/03/H162, projekt VaV | Název: Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu |
Investor: Grantová agentura ČR, Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu | |
MSM 143100003, záměr | Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek | |
MSM0021622411, záměr | Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
VytisknoutZobrazeno: 6. 10. 2024 08:45