Complex study of the mechanical properties of a-Si:H and a-SiC:H thin films
BURŠÍKOVÁ, Vilma, Petr SLÁDEK, Pavel SŤAHEL a Jiří BURŠÍK. Complex study of the mechanical properties of a-Si:H and a-SiC:H thin films. In Book of abstract - ICANS 21. Lisbon: Universidade Nova de Lisboa, 2005, s. 162. ISBN 972-8893-04-3. |
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
|
Základní údaje | |
---|---|
Originální název | Complex study of the mechanical properties of a-Si:H and a-SiC:H thin films |
Název česky | Komplexní studium mechanických vlastností tenkých vrstev a-Si:H , a-SiC:H |
Autoři | BURŠÍKOVÁ, Vilma (203 Česká republika), Petr SLÁDEK (203 Česká republika, garant), Pavel SŤAHEL (203 Česká republika) a Jiří BURŠÍK (203 Česká republika). |
Vydání | Lisbon, Book of abstract - ICANS 21, s. 162-162, 2005. |
Nakladatel | Universidade Nova de Lisboa |
Další údaje | |
---|---|
Originální jazyk | angličtina |
Typ výsledku | Stať ve sborníku |
Obor | 10302 Condensed matter physics |
Stát vydavatele | Portugalsko |
Utajení | není předmětem státního či obchodního tajemství |
Kód RIV | RIV/00216224:14310/05:00012628 |
Organizační jednotka | Přírodovědecká fakulta |
ISBN | 972-8893-04-3 |
Klíčová slova anglicky | amorphous semiconductor; mechanical properties; thin film |
Štítky | amorphous semiconductor, mechanical properties, thin film |
Změnil | Změnila: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D., učo 2418. Změněno: 3. 1. 2006 16:37. |
Anotace |
---|
The aim of this study is to provide the complex study of the mechanical properties of a-SiH and a-SiC:H thin films prepared under different plasma conditions. |
Anotace česky |
---|
Cílem práce je komplexní studium mechanických vlastností tenkých vrstev a-Si:H a a-SiC:H připravených v plazmatu za různých depozičních podmínek. |
Návaznosti | |
---|---|
GA106/05/0274, projekt VaV | Název: Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů |
Investor: Grantová agentura ČR, Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů | |
MSM0021622411, záměr | Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
VytisknoutZobrazeno: 5. 10. 2024 10:26