Energy distribution of hydrogen ions in capacitively coupled low pressure discharge

DVOŘÁK, Pavel, Jaroslav JÁNSKÝ, Lenka ZAJÍČKOVÁ a Jan JANČA. Energy distribution of hydrogen ions in capacitively coupled low pressure discharge. Acta physica slovaca. Bratislava: Institute of Physics, SAS, 2005, roč. 55, č. 5, s. 441-446. ISSN 0323-0465.

Základní údaje

• Originální název: Energy distribution of hydrogen ions in capacitively coupled low pressure discharge
• Název česky: Rozdělovací funkce energií iontů ve vodíkovém kapacitně vázaném nízkotlakém výboji
• Autoři: DVOŘÁK, Pavel (203 Česká republika, garant), Jaroslav JÁNSKÝ (203 Česká republika), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika) a Jan JANČA (203 Česká republika).
• Vydání: Acta physica slovaca, Bratislava, Institute of Physics, SAS, 2005, 0323-0465.

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Článek v odborném periodiku
• Obor: 10305 Fluids and plasma physics
• Stát vydavatele: Slovensko
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Impakt faktor: Impact factor: 0.359
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/05:00012694
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• UT WoS: 000232386500004
• Klíčová slova anglicky: IED hydrogen capacitively coupled low-pressure discharge plasma
• Příznaky: Mezinárodní význam, Recenzováno

Anotace

The H3+, H2+ and H+ ion energy distributions (IEDs) were recorded in the 13.56 MHz hydrogen glow discharges with the energy dispersive quadrupole mass spectrometer (PPM 421) horizontally mounted between the discharge electrodes. The discharge was capacitively coupled with an asymmetric arrangement. The measurements were spatially resolved along the discharge axis, i.e. perpendicular to the electrodes, and reflected the ion flux to the grounded PPM extraction orifice 15 mm aside the electrodes. The IEDs of H3+ and H+ revealed a saddle structure that was suppressed by an effect of collisions in case of H2+. The H+ with energies up to 10 eV higher than the maximum energy of the saddle structure were observed and explained by a dissociative ionization of H2. We proved an appreciable impedance of the plasma glow region from the width changes of the saddle structure. The effect of pressure and rf power on the IEDs was studied for a fixed position at the glow region.

Anotace česky

Článek uvádí rozdělovací funkce energií iontů (IED) H3+, H2+ a H+ vyletujících z vf. (13,56 MHz) kapacitně vázaného asymetrického vodíkového výboje, zapalovaného mezi dvěma vodorovnými elektrodami. IED byly měřeny hmotnostním a energiovým analyzátorem (PPM 421) z boku horizontálně mířícím do prostoru mezi elektrodami. Vstup do PPM byl zeměný a byl umístěn v horizontální vzdálenosti 15 mm od krajů elektrod. Publikujeme tvary IED v různých svislých vzdálenostech od buzené elektrody. Detekovali jsme ionty H+ s energií o více než 10 eV vyšší, než je maximální energie sedlové struktury, a jejich přítomnost vysvětlili disociativní ionizací molekuly H2. Naměřili jsme nezanedbatelnou impedanci vlastního plazmatu viditelnou na změně šířky sedlové struktury IED při posunu měřícího bodu. Uvádíme také vliv tlaku a vf. výkonu.

Návaznosti

• GD202/03/H162, projekt VaV: Název: Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu

Investor: Grantová agentura ČR, Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu

• MSM 143100003, záměr: Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek