Spatially resolved probe measurements in hydrogen rf discharges

DVOŘÁK, Pavel a Jan JANČA. Spatially resolved probe measurements in hydrogen rf discharges. In Proceedings of the 14th Annual Conference of Doctoral Students - WDS 2005. Praha: Matfyzpress, 2005, s. 368-372. ISBN 80-86732-59-2.

Základní údaje

• Originální název: Spatially resolved probe measurements in hydrogen rf discharges
• Název česky: Prostorově rozlišená měření Langmuirovou sondou ve vodíkovém rf výboji
• Autoři: DVOŘÁK, Pavel (203 Česká republika, garant) a Jan JANČA (203 Česká republika).
• Vydání: Praha, Proceedings of the 14th Annual Conference of Doctoral Students - WDS 2005, od s. 368-372, 5 s. 2005.
• Nakladatel: Matfyzpress

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Stať ve sborníku
• Obor: 10305 Fluids and plasma physics
• Stát vydavatele: Česká republika
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/05:00012710
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• ISBN: 80-86732-59-2
• Klíčová slova anglicky: plasma hydrogen discharge Langmuir probe

Anotace

The electron energy distribution (EED) was measured by means of the Langmuir probe in hydrogen capacitively coupled rf discharge at three different pressures (2.5, 10 and 85\,Pa). In order to obtain the spatially resolved EEDs the probe tip was moved along the discharge axis and the plasma parameters were measured at different distances from the electrodes. An unusually high electron energy at the lowest pressure was observed having its maximum at the sheath edge, where the maximum of the electron concentration was also located. On the other hand, at higher pressures the electron concentration was maximum inside the plasma bulk. When the pressure was increased, the increase of the electron concentration, decrease of the mean electron energy, changes of the nonlocal discharge character towards the local character and the development of the sheath at the grounded electrode were observed. A high-energy group of electrons coming from the sheaths at the highest pressure was detected.

Anotace česky

Měřili jsme rozdělovací funkci energie elektronů (EED) ve vodíkovém rf. kapacitně vázaném výboji při třech různých tlacích (2.5, 10 a 85 Pa). Hrot sondy byl při všech měřeních umístěn na ose výboje, ale za účelem získání prostorově rozlišených měření jsme měnili jeho vzdálenost od elektrod. Při tlaku 2.5 Pa jsme pozorovali, že elektrony měly nezvykle velkou energii. Maxima energie i koncentrace elektronů ležela na rozhraní stěnové vrstvy prostorového náboje ("sheath-u") u horní elektrody a vlastního plazmatu. Při zvyšování tlaku jsme pozorovali růst koncentrace a pokles energie elektronů, posun maxima koncentrace elektronů do centra plazmatu, přechod od nelokálního k lokálnímu charakteru výboje a vývoj stěnové vrstvy prostorového náboje u dolní elektrody. Detekovali jsme také skupinu vysokoenergetických elektornů letících od stěnových vrstev u elektrod.

Návaznosti

• GD202/03/H162, projekt VaV: Název: Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu

Investor: Grantová agentura ČR, Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu

• MSM0021622411, záměr: Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek