2005
Actinometry for understanding PECVD of thin films from O2/HMDSO plasmas
ŠMÍD, Radek, Lenka ZAJÍČKOVÁ a Vilma BURŠÍKOVÁZákladní údaje
Originální název
Actinometry for understanding PECVD of thin films from O2/HMDSO plasmas
Název česky
Aktinometrie pro porozumění plazmochemické depozice tenkých vrstev z O2/HMDSO plazmatu
Autoři
ŠMÍD, Radek (203 Česká republika, garant), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika) a Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika)
Vydání
1. vyd. Eindhoven, Nizozemí, Proceedings of the XXVII ICPIG, s. 297-300, 2005
Nakladatel
Eindhoven University of Technology, Nizozemí
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Nizozemské království
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Odkazy
Kód RIV
RIV/00216224:14310/05:00014212
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
90-386-2231-7
Klíčová slova anglicky
actinometry; HMDSO; optical emission spectroscopy
Příznaky
Mezinárodní význam
Změněno: 9. 1. 2008 11:11, doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
V originále
We applied actinometry for the calculation of dissociation degree in oxygen CCP discharges used for the deposition from O2/HMDSO plasmas. Dissociation degree exhibited a slight increase with increasing r.f. power and maximum of 20% for 5 Pa of oxygen. This relatively high value was not enough for deposition of SiO2-like films because the HMDSO percentage in the feed was too high at this low oxygen partial pressure. Rapid decrease of dissociation degree to 2-4% for higher oxygen flow rates, i.e. higher pressures resulted in still insufficient oxidation of film precursors.
Česky
Použili jsme aktinometrii pro odhad disociačního koeficientu kyslíku v kapacitně vázaných výbojích používaných při depozicích z 02/HMDSO. Disociační stupeň v čistém kyslíku rostl s rostoucím výkonem a vykazoval maximum 20% při tlaku 5 Pa. Přesto tento disociační stupeň nebyl dostatečně vysoký, aby bylo možné vytvářet vrstvy podobné SiO2, protože při 5 Pa bylo stále ještě velké množství HMDSO ve směsi. Pokles disociačního stupně na 2-4% při vyšších průtocích kyslíku, tedy i tlacích, měl za následek nedostatečnou oxidaci vrstev rostoucích ze směsi obsahující větší procento 02.
Návaznosti
| MSM0021622411, záměr |
| ||
| 1K05025, projekt VaV |
|