J 2005

Thermal stability of the optical properties of plasma deposited diamond-like carbon thin films

FRANTA, Daniel, Vilma BURŠÍKOVÁ, Ivan OHLÍDAL, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Pavel SŤAHEL et. al.

Základní údaje

Originální název

Thermal stability of the optical properties of plasma deposited diamond-like carbon thin films

Název česky

Termální stabilita optických vlastností diamantu podobných uhlíkových vrstev připravených plazmochemickou depozicí

Autoři

FRANTA, Daniel (203 Česká republika, garant), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika), Ivan OHLÍDAL (203 Česká republika), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika) a Pavel SŤAHEL (203 Česká republika)

Vydání

Diamond and Related Materials, New York, Elsevier Science S.A. 2005, 0925-9635

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Spojené státy

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

Impakt faktor

Impact factor: 1.988

Kód RIV

RIV/00216224:14310/05:00014247

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000233983600013

Klíčová slova anglicky

DLC; Thermal stability; optical properties; sp3/sp2 ratio

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 17. 7. 2007 17:57, doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.

Anotace

V originále

In present paper we studied the optical constants of the diamond-like carbon (DLC) films and their changes with annealing. The multisample modification of combined variable angle spectroscopic ellipsometry and near normal spectroscopic reflectometry was used. The optical constants of the DLC films were simulated by our recently published six-parameter dispersion model employing a parameterization of the density of electronic states (DOS). Based on the dispersion model parameters the density of and electrons were evaluated. We showed that from our model and the independently determined hydrogen atomic fraction of the films before and after annealing the ratio between momentum matrix elements of pi->pi* and sigma->sigma* transitions and the correct sp3-to-sp2 carbon bonding configuration ratio can be calculated. It is worth to notice that the first quantity is usually assumed to be equal to unity but we showed that this assumption may cause a significant error in the determination of the sp3-to-sp2 ratio. Therefore, our suggested method represents a novelty in this field.

Česky

V tomto článku jsme studovali optické konstanty diamantu podobných uhlíkových vrstev (DLC) a jejich změny při zahřívání. Vícevzorková modifikace kombinované víceúhlové spektroskopické elipsometrie a téměř kolmé spektroskopické reflektometrie byla využita pro tento účel. Optické konstanty DLC vrstev byly simulovány pomocí nedávno publikovaného dispersního modelu o šesti parametrech, který je založen na parametrizaci hustoty elektronových stavů (DOS). Na základě tohoto byly určeny parametry hustoty pí a sigma elektronů. Ukázali jsme, že pomocí našeho modelu a z nezávisle určené vodíkové atomové koncentrace vrstev před a po zahřátí je možné určit poměr mezi elementy momentové matice pi->pi* a sigma->sigma* přechodů a správný poměr sp3-sp2 vazebné konfigurace. Je nutné upozornit, že první veličina je obvykle předpokládána v hodnotě rovné jedné ale my jsme ukázali, že tento předpoklad může způsobit významnou chybu v v určení sp3-sp2 poměru. Naše navržená metoda proto představuje nový příspěvek v této oblasti.

Návaznosti

MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek