2005
Comparison of the ionisation efficiency in a microwave and a radio-frequency assisted magnetron discharge
DE POUCQUES, Ludovic, Jean-Christophe IMBERT, Petr VAŠINA, Caroline BOISSE-LAPORTE, Lionel TEULÉ-GAY et. al.Základní údaje
Originální název
Comparison of the ionisation efficiency in a microwave and a radio-frequency assisted magnetron discharge
Název česky
Srovnání ionizační účinnosti mikrovlnného a radio-frekvenčního výboje doprovázejícího magnetronový výboje
Autoři
DE POUCQUES, Ludovic (250 Francie), Jean-Christophe IMBERT (250 Francie), Petr VAŠINA (203 Česká republika, garant), Caroline BOISSE-LAPORTE (250 Francie), Lionel TEULÉ-GAY (250 Francie), Jean BRETAGNE (250 Francie) a Michel TOUZEAU (250 Francie)
Vydání
Surface and Coating Technology, New York, ELSEVIER, 2005, 0257-8972
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Spojené státy
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor
Impact factor: 1.646
Kód RIV
RIV/00216224:14310/05:00012904
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000232327800176
Klíčová slova anglicky
IPVD; sputtering; magnetron discharge; microwave discharge; RF discharge; absorption spectroscopy
Štítky
Změněno: 23. 2. 2006 14:53, prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
V originále
Comparison of two sources of ionisation in an IPVD reactor, microwave and RF discharge.
Česky
Srovnání dvou zdrojů ionisace pri magnetronovém naprašováni, dodatečného mikrovlnného a RF výboje.
Návaznosti
| GD202/03/H162, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|