2003
Correlation between SiOx Content and Properties of DLC:SiOx Films Prepared by PECVD
ZAJÍČKOVÁ, Lenka, Vilma BURŠÍKOVÁ, Vratislav PEŘINA, Anna MACKOVÁ, Jan JANČA et. al.Základní údaje
Originální název
Correlation between SiOx Content and Properties of DLC:SiOx Films Prepared by PECVD
Název česky
Vztah mezi obsahem SiOx a vlastnostmi vrstev DLC:SiOx připravenými PECVD
Autoři
ZAJÍČKOVÁ, Lenka (203 Česká republika, garant), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika), Vratislav PEŘINA (203 Česká republika), Anna MACKOVÁ (203 Česká republika) a Jan JANČA (203 Česká republika)
Vydání
Surface and Coating Technology, New York, ELSEVIER, 2003, 0257-8972
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Spojené státy
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor
Impact factor: 1.410
Kód RIV
RIV/00216224:14310/03:00021418
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova anglicky
DLC; PECVD
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 17. 7. 2007 17:57, doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
V originále
Hard diamond like carbon (DLC) films with an addition of SiOx were deposited in capacitively coupled rf discharges from a mixture of methane and hexamethyldisiloxane (HMDSO). The flow rate of HMDSO was changed in order to vary the SiOx content in the films. Complete atomic composition of the films was determined by Rutherford backscattering spectroscopy combined with elastic recoil detection analysis. The thickness and the optical properties were obtained from the ellipsometric measurements. The mechanical properties were studied by a depth sensing indentation technique using Fischerscope H100 tester. The O/Si ratio in DLC:SiOx films was 0.286 and the content of SiOx increased with the HMDSO-to-methane flow rate ratio q. The DLC:SiOx films were close to DLC films as concerning the optical properties in the uv/visible and the high hardness if q was maximum 0.25. However, the compressive stress in the films was reduced, the film fracture toughness was improved and the deposition rate increased.
Česky
Tvrdé diamantu podobné uhlíkové vrstvy (DLC) s příměsí SiOx bylu připraveny v kapacitně vázaném vf výboji ze směsi metanu a hexametyldisiloxanu (HMDSO). Byl měněn průtok HMDSO, což ovlivňovalo množství SiOx ve vrstvách. Metodou Rutherfordovského zpětného rozptylu kombinovanou s metodou ERDA bylo stanoveno kompletní atomární složení vrstev. Tloušťka a optické vlastnosti byly stanoveny z elipsometrických měření. Mechanické vlastnosti byly studovány hloubkově citlivou indentační technikou za pomocí přístroje Fischerscope H100. Poměr O/Si v DLC:SiOx vrstvách byl 0,286 a obsah SiOx se zvyšoval s rostoucím poměrem průtoku HMDSO k metanu (q). Vrstvy DLC:SiOx byly z hlediska optických vlastností v uv a viditelné oblasti podobné vrstvám DLC a vykazovaly podobně vysokou tvrdost jako DLC vrstvy pokud byl poměr q maximálně 0,25. Podařilo se ovšem zredukovat vysoké tlakové pnutí ve vrstvách, byla podstatně vylepšena lomová houževnatost a zvýšila se depoziční rychlost.
Návaznosti
| MSM 143100003, záměr |
|