D 2005

Infrared Response of Heavily Doped p-type Si and SiGe Alloys from Ellipsometric Measurements

HUMLÍČEK, Josef a Vlastimil KŘÁPEK

Základní údaje

Originální název

Infrared Response of Heavily Doped p-type Si and SiGe Alloys from Ellipsometric Measurements

Název česky

Infračervená odezva silně legovaného p-typu Si a slitin SiGe z elipsometrických měření

Autoři

HUMLÍČEK, Josef (203 Česká republika, garant) a Vlastimil KŘÁPEK (203 Česká republika)

Vydání

USA, CP772, Physics of Semiconductors: 27th International Conference on the Physics of Semiconductors, od s. 113-114, 2 s. 2005

Nakladatel

American Institute of Physics

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Spojené státy

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/05:00014387

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

0-7354-0257--4

UT WoS

000230723900033

Klíčová slova anglicky

silico-germanium alloys; infrared ellipsometry
Změněno: 1. 2. 2006 12:41, prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc.

Anotace

V originále

We report here ellipsometric spectra of Si and SiGe alloys heavily doped with boron. In the mid-infrared range, the response can be separated into the contributions of free-hole plasma and direct intervalence transitions. The first contribution extrapolates correctly to the zero-frequency resistance, the second is in a good agreement with the 8-band k.p calculation.

Česky

Elipsometrická spektra Si a slitin SiGe silně legovaných bórem. Ve střední infračervené oblasti lze v optické odezvě oddělit příspěvky plasmatu volných děr a přímých mezipásových přechodů. První z obou příspěvků dává správnou extrapolaci stejnosměrného odporu, druhý je v dobré shodě s osmipásovou k.p aproximací.

Návaznosti

MSM0021622410, záměr
Název: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur