J 2005

High temperature investigations of Si/SiGe based cascade structures using x-ray scattering methods

MEDUŇA, Mojmír, Jiří NOVÁK, Claudiu FALUB, Gang CHEN, Günther BAUER et. al.

Základní údaje

Originální název

High temperature investigations of Si/SiGe based cascade structures using x-ray scattering methods

Název česky

Vysokoteplotní studia kaskádových struktur na bázi Si/SiGe za použití metod rtg rozptylu

Autoři

MEDUŇA, Mojmír (203 Česká republika, garant), Jiří NOVÁK (203 Česká republika), Claudiu FALUB (642 Rumunsko), Gang CHEN (156 Čína), Günther BAUER (40 Rakousko), Soichiro TSUJINO (392 Japonsko), Detlev GRÜTZMACHER (276 Německo), Elisabeth MÜLLER (756 Švýcarsko), Yves CAMPIDELLI (250 Francie), Olivier KERMARREC (250 Francie), Daniel BENSAHEL (250 Francie) a Norbert SCHELL (276 Německo)

Vydání

J. Phys. D: Appl. Phys. Bristol, UK, IOP Publishing, Ltd. 2005, 0022-3727

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Velká Británie a Severní Irsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Impakt faktor

Impact factor: 1.957

Kód RIV

RIV/00216224:14310/05:00014587

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000230243500024

Klíčová slova anglicky

X-ray reflectivity; SiGe; Annealing; Diffusion

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 14. 2. 2007 09:39, Mgr. Mojmír Meduňa, Ph.D.

Anotace

V originále

Temperature stability of SiGe/Si (80% Ge) structures was studied using x-ray reflectivity during in-situ annealing around temperature 790C.

Česky

Teplotní stabilita SiGe/Si struktur byla studována pomocí rtg reflektivity během žíhání in-situ v okolí teplot 790C.

Návaznosti

MSM 143100002, záměr
Název: Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur
MSM0021622410, záměr
Název: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur