2005
Optical properties of slightly rough LaNiO3 thin films studied by spectroscopic ellipsometry and reflectometry
MISTRÍK, Jan, Tomuo YAMAGUCHI, Daniel FRANTA, Ivan OHLÍDAL, Gu Jin HU et. al.Základní údaje
Originální název
Optical properties of slightly rough LaNiO3 thin films studied by spectroscopic ellipsometry and reflectometry
Název česky
Optické vlastnosti jemně drsných tenkých vrstev LaNiO3 studovaných spektroskopickou elipsometrií a reflektometrií
Autoři
MISTRÍK, Jan (203 Česká republika), Tomuo YAMAGUCHI (392 Japonsko), Daniel FRANTA (203 Česká republika, garant), Ivan OHLÍDAL (203 Česká republika), Gu Jin HU (156 Čína) a Ning DAI (156 Čína)
Vydání
Applied Surface Science, USA, ELSEVIER (NORTH-HOLLAND), 2005, 0169-4332
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Spojené státy
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Odkazy
Impakt faktor
Impact factor: 1.263
Kód RIV
RIV/00216224:14310/05:00014774
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000228600200099
Klíčová slova anglicky
Ellipsometry; Reflectometry; Optical constants; LNO; LaNiO3
Štítky
Změněno: 3. 2. 2006 17:48, Mgr. Daniel Franta, Ph.D.
V originále
Optical characterization of sol-gel deposited lanthanum nickel oxide, LaNiO3 (LNO) film on Pt-coated Si substrate was performed by spectroscopic ellipsometry and reflectometry. The sum of five Lorentz oscillators was used for LNO dispersion parameterization in spectral range from 190 to 1000 nm. Two theoretical approaches: Raileigh-Rice theory (RRT) and effective medium approximation (EMA) were considered to account for the effect of LNO upper boundary roughness. Root mean square (rms) values of the heights of irregularities obtained by atomic force microscopy (AFM) and RRT were 2.09 and 5.62 nm, respectively. Effective layer thickness in EMA approach was found to be 4.62 nm. Higher values of roughness determined from optical methods with respect to the AFM may be assigned to the effect of convolution of AFM tip and boundary irregularities.
Česky
Optická charakterizace vrstev LaNiO3 (LNO) deponovaných sol-gel metodou na podložky Si pokryté Pt byla provedena pomocí spektroskopické elipsometrie a reflektometrie. Součet pěti Lorentzových oscilátorů byl užit pro dispersní parametrizaci LNO ve spektrálním oboru 190-1000 nm. Dva teoretic képřístupy: Rayleigh-Riceova teorie (RRT) a aproximace efektivního prostředí (EMA) byly uvažovány při započtení vlivu drsnosti rozhraní. RMS hodnoty výšek nepravidelností obdržené pomocí mikroskopie atomové síly (AFM) a RRT byly 2.09 a 5.62 nm. Tloušťka efektivní vrstvy v rámci přístupu EMA byla zjištěna v hodnotě 4.62 nm. Vyšší hodnoty drsnosti určené pomocí optické metody vzhledem k AFM mohou být vysvětleny efektem konvoluce hrotu AFM a nepravidelností rozhraní.
Návaznosti
| MSM 143100003, záměr |
|