2005
Specular spectroscopic ellipsometry for the critical dimension monitoring of gratings fabricated on a thick transparent plate
ANTOŠ, Roman, Jaromír PIŠTORA, Ivan OHLÍDAL, Kamil POSTAVA, Jan MISTRÍK et. al.Základní údaje
Originální název
Specular spectroscopic ellipsometry for the critical dimension monitoring of gratings fabricated on a thick transparent plate
Název česky
Zrcadlová spektroskopická elipsometrie pro monitorování kritické velikosti mřížek vyrobených na tlustých transparentních substrátech
Autoři
ANTOŠ, Roman (203 Česká republika), Jaromír PIŠTORA (203 Česká republika), Ivan OHLÍDAL (203 Česká republika, garant), Kamil POSTAVA (203 Česká republika), Jan MISTRÍK (203 Česká republika), Tomuo YAMAGUCHI (392 Japonsko) a Štefan VIŠŇOVSKÝ (203 Česká republika)
Vydání
Journal of Applied Physics, USA, American Institute of Physics, 2005, 0021-8979
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Spojené státy
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor
Impact factor: 2.498
Kód RIV
RIV/00216224:14310/05:00013296
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000227766900008
Klíčová slova anglicky
Ellipsometry; Gratings
Štítky
Změněno: 28. 2. 2006 13:55, prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.
V originále
Specular-mode spectroscopic ellipsometry is applied to analyze the optical response of gratings fabricated on a thick transparent plate substrate. The principles of the optical response of the gratings are described by employing incoherent contributions due to backreflections in the finite transparent substrate medium. A special function identifies a "diminution effect" caused by deflecting the secondary contributions from the primary beam axis. Two different methods are used to measure the ellipsometric response, a liquid solution method with the backreflections eliminated and a method including the incoherent backreflections. The grating parameters deduced by fitting from the measurement using the first method are applied to simulate the ellipsometric response using the second method. The spectral dependencies yielded by both methods are compared with remarkable agreement between the simulations and the measurements, which suggests the high usability of the backreflection method in the metrological characterization of gratings made on transparent plates.
Česky
Mód zrcadlové spektroskopické elipsometrie je aplikován pro analýzu optické odezvy mřížek vyrobených na transparentních podložkách v podobě tlustých destiček. Podstata optické odezvy mřížek je popsána na základě využití nekoherentních příspěvků způsobených zpětnými odrazy v konečném transparentním prostředí podložky. Speciální funkce identifikuje "diminution efekt" způsobený deflekcí sekundárních příspěvků z primárního svazku. Dvě různé metody jsou užity k měření elipsometrické odezvy, kapalinová metoda s eliminací zpětných odrazů a metoda zahrnující nekoherentní zpětné odrazy. Mřížkové parametry dedukované z fitování měření užitím první metody jsou aplikovány k simulaci elipsometrické odezvy použitím druhé metody. Spektrální závislosti poskytnuté oběma metodami jsou srovnány s výborným souhlasem simulací a měření, což nasvědčuje vysokou použitelnost metody zpětných odrazů při metrologické charakterizaci mřížek vytvořených na transparentních deskách.
Návaznosti
| GA202/03/0776, projekt VaV |
| |
| ME 574, projekt VaV |
|