Influence of methane on the capacitively coupled hydrogen discharge

DOLEŽAL, Vojtěch, Pavel DVOŘÁK a Jan JANČA. Influence of methane on the capacitively coupled hydrogen discharge. Czechoslovak journal of physics. Praha, Czech republic: Institute of Physics, Acad. Sci. CR, 2006, roč. 56, Suppl.B, s. B697-B701, 5 s. ISSN 0011-4626.

Základní údaje

• Originální název: Influence of methane on the capacitively coupled hydrogen discharge
• Název česky: Vliv metanu na kapacitně vázaný výboj ve vodíku
• Autoři: DOLEŽAL, Vojtěch (203 Česká republika), Pavel DVOŘÁK (203 Česká republika) a Jan JANČA (203 Česká republika, garant).
• Vydání: Czechoslovak journal of physics, Praha, Czech republic, Institute of Physics, Acad. Sci. CR, 2006, 0011-4626.

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Článek v odborném periodiku
• Obor: 10305 Fluids and plasma physics
• Stát vydavatele: Česká republika
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Impakt faktor: Impact factor: 0.568
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/06:00015763
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• UT WoS: 000241336500012
• Klíčová slova anglicky: hydrogen;methane;discharge
• Štítky: discharge, Hydrogen, Methane
• Příznaky: Recenzováno

Anotace

In this work the mixture of hydrogen and a small amount (0-1.5 %) of methane was studied. The measurements were carried out in a low-pressure (5 Pa) capacitively coupled radio frequency discharge. Positive ions and neutral particles were detected by Plasma Process Monitor PPM 421 (Balzers). Optical emission spectra of active discharge were measured by spectrometer Triax 550 Jobin-Yvon Spex. The dominating ions in the discharge were H+. Its amount was significantly decreased when a small amount of methane was added. Although we did not observe any neutral particles heavier than the methane, the positive ions with 1-3 carbon atoms were detected. The dominant carbon containing ion was CH5+. Further, the dissociation degree of hydrogen molecules decreased when methane was added into the discharge.

Anotace česky

V této práci se zabýváme směsí vodíku s malou příměsí metanu (0-1,5 %). Měření probíhalo v radiofrekvenčním kapacitně vázaném výboji za nízkého tlaku. Kationty a neutrální částice byly detekovány úpomocí Plasma Process Monitor PPM 421 (Balzers). Měření otické emisní spektroskopie bylo provedeno na spektrometru Triax 550 Jobin-Yvon Spex. Dominantním iontem ve výboji byl H+. Jeho množství znatelně ubylo s dodáním malého mnžství metanu. Přestože jsme nepozorovali žádnou neutrální částici těžší než metan, byly detekovány kationty s 1-3 uhlíkovými atomy. Dále se ukázalo, že disociační stupeň molekuly vodíku klesl po přidání metanu do výboje.

Návaznosti

• GD202/03/H162, projekt VaV: Název: Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu

Investor: Grantová agentura ČR, Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu

• MSM0021622411, záměr: Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek