2006
Optical characterization of carbon films prepared by PECVD using ellipsometry and reflectometry
VALTR, Miroslav, Ivan OHLÍDAL a Daniel FRANTAZákladní údaje
Originální název
Optical characterization of carbon films prepared by PECVD using ellipsometry and reflectometry
Název česky
Optická charakterizace uhlíkových vrstev připravených metodou PECVD pomocí elipsometrie a reflektometrie
Autoři
VALTR, Miroslav (203 Česká republika, garant), Ivan OHLÍDAL (203 Česká republika) a Daniel FRANTA (203 Česká republika)
Vydání
Czech. J. Phys. Praha, Institute of Physics Academy of Sciences, 2006, 0011-4626
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor
Impact factor: 0.568
Kód RIV
RIV/00216224:14310/06:00015814
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000241337000010
Klíčová slova anglicky
plasma discharge; PECVD; ellipsometry; reflectometry; plasma
Štítky
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 4. 7. 2009 17:58, Mgr. Miroslav Valtr, Ph.D.
V originále
Carbon polymer-like films were prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition in pulsed regime in Ar-acetylene gas mixture. The optical characterization of these films was performed by variable angle spectroscopic ellipsometry and spectroscopic reflectometry. Within the characterization the thicknesses, spectral dependences of the refractive index and extinction coefficient, dispersion parameters and the root-mean-square values of the heights of boundary roughness were determined. Non-negligible differences between the dependences of the film thickness on the deposition time determined using the ellipsometric data on the one hand and reflectometric data on the other hand were observed. These differences were explained by the fact that the films exhibited other defects that were not included in their structural model. Sensitivity of the optical parameters of the films on UV irradiation was also observed.
Česky
Uhlíkové polymerní vrstvy byly připraveny plazmovou depozicí z plynné fáze v pulzním režimu ve směsi Ar-acetylén. Optická charakterizace těchto vrstev byla provedena pomocí spektroskopické elipsometrie pod různými úhly dopadu a spektroskopické reflektometrie. V rámci optické charakterizace byly zjištěny tloušťky, spektrální závislosti indexu lomu a indexu absorpce, disperzní parametry a střední kvadratické odchylky výšek drsnosti rozhraní. Byly pozorovány nezanedbatelné odchylky mezi závislostmi tloušťek vrstev na době depozice určenými pomocí elipsometrie na jedné straně a závislostmi určenými pomocí reflektometrie na straně druhé. Tyto odchylky byly vysvětleny tím, že vrstvy vykazovaly i jiné defekty, které nebyly zahrnuty v jejich strukturním modelu. Byla rovněž pozorována citlivost optických parametrů vrstev na ozáření UV.
Návaznosti
| GD202/03/H162, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|