Optical characterization of carbon films prepared by PECVD using ellipsometry and reflectometry

VALTR, Miroslav, Ivan OHLÍDAL a Daniel FRANTA. Optical characterization of carbon films prepared by PECVD using ellipsometry and reflectometry. Czech. J. Phys. Praha: Institute of Physics Academy of Sciences, 2006, roč. 56/2006, Suppl. B, s. 1103 - 1109. ISSN 0011-4626.

Základní údaje

• Originální název: Optical characterization of carbon films prepared by PECVD using ellipsometry and reflectometry
• Název česky: Optická charakterizace uhlíkových vrstev připravených metodou PECVD pomocí elipsometrie a reflektometrie
• Autoři: VALTR, Miroslav (203 Česká republika, garant), Ivan OHLÍDAL (203 Česká republika) a Daniel FRANTA (203 Česká republika).
• Vydání: Czech. J. Phys. Praha, Institute of Physics Academy of Sciences, 2006, 0011-4626.

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Článek v odborném periodiku
• Obor: 10305 Fluids and plasma physics
• Stát vydavatele: Česká republika
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Impakt faktor: Impact factor: 0.568
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/06:00015814
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• UT WoS: 000241337000010
• Klíčová slova anglicky: plasma discharge; PECVD; ellipsometry; reflectometry; plasma
• Štítky: ellipsometry, PECVD, plasma, plasma discharge, Reflectometry
• Příznaky: Mezinárodní význam, Recenzováno

Anotace

Carbon polymer-like films were prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition in pulsed regime in Ar-acetylene gas mixture. The optical characterization of these films was performed by variable angle spectroscopic ellipsometry and spectroscopic reflectometry. Within the characterization the thicknesses, spectral dependences of the refractive index and extinction coefficient, dispersion parameters and the root-mean-square values of the heights of boundary roughness were determined. Non-negligible differences between the dependences of the film thickness on the deposition time determined using the ellipsometric data on the one hand and reflectometric data on the other hand were observed. These differences were explained by the fact that the films exhibited other defects that were not included in their structural model. Sensitivity of the optical parameters of the films on UV irradiation was also observed.

Anotace česky

Uhlíkové polymerní vrstvy byly připraveny plazmovou depozicí z plynné fáze v pulzním režimu ve směsi Ar-acetylén. Optická charakterizace těchto vrstev byla provedena pomocí spektroskopické elipsometrie pod různými úhly dopadu a spektroskopické reflektometrie. V rámci optické charakterizace byly zjištěny tloušťky, spektrální závislosti indexu lomu a indexu absorpce, disperzní parametry a střední kvadratické odchylky výšek drsnosti rozhraní. Byly pozorovány nezanedbatelné odchylky mezi závislostmi tloušťek vrstev na době depozice určenými pomocí elipsometrie na jedné straně a závislostmi určenými pomocí reflektometrie na straně druhé. Tyto odchylky byly vysvětleny tím, že vrstvy vykazovaly i jiné defekty, které nebyly zahrnuty v jejich strukturním modelu. Byla rovněž pozorována citlivost optických parametrů vrstev na ozáření UV.

Návaznosti

• GD202/03/H162, projekt VaV: Název: Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu

Investor: Grantová agentura ČR, Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu

• MSM0021622411, záměr: Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek