2006
Study of magnetic field influence on charged species in a low pressure helicon reactor
ŠMÍD, Radek, Agnès GRANIER, Angelique BOUSQUET, Cartry GILLES, Lenka ZAJÍČKOVÁ et. al.Základní údaje
Originální název
Study of magnetic field influence on charged species in a low pressure helicon reactor
Název česky
Studium vlivu magnetického pole na nabité částice v nízkotlakém helikonovém reaktoru
Autoři
ŠMÍD, Radek (203 Česká republika, garant), Agnès GRANIER (250 Francie), Angelique BOUSQUET (250 Francie), Cartry GILLES (250 Francie) a Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika)
Vydání
Czechoslovak Journal of Physics, Praha, Institute of Physics Academy of Sciences, 2006, 0011-4626
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor
Impact factor: 0.568
Kód RIV
RIV/00216224:14310/06:00015838
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000241337000008
Klíčová slova anglicky
helicon reactor; argon; oxygen; electron density; ion flux
Štítky
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 17. 7. 2007 17:57, doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
V originále
The variation of electron density, ion flux and emission of argon lines were investigated in a rf helicon reactor for different static magnetic field amplitude and rf power using Langmuir probe, rf coupled planar probe and optical emission spectroscopy. The static magnetic field was created by two Helmholtz coils positioned around the plasma source. Its amplitude B varied by changing the current 0-2 A through the coils from 0 to 10 mT in the helicon source, which corresponded to 0-1.4 mT in the diffusion chamber. We studied Ar and O2 discharges at 0.7 Pa with rf power 50-600 W applied to the helicon antenna. The variations of electron density, ion flux and intensity of Ar 750 nm with the rf power measured in Ar diffusion plasma were in a good agreement. Measurements in oxygen discharge showed slightly different results.
Česky
Studium koncentrace elektronů, toku iontů a emisní argonové čáry v vf helikonovém reaktoru pro různé statické magnetické pole. Použité metody: Langmuirova sonda, vf planární sonda a optická emisní spektroskopie. Statické magnetické pole bylo vytvářena dvěmy cívkami okolo zdroje jehož hodnota se pohybuje od 0 do 10 mT ve zdroji a mezi 0 a 1,4 mT v difúzní komoře. Byl studován argonový a kyslíkový výboj při tlaku 0,7 Pa a vf výkonu 50-600 W v helikonové anténě. Průběhy závislostí koncentrace elektronů, toku iontů a intenzity argonové čáry 750 nm na výkonu byly v dobré shodě. Měření v kyslíkovém výboji ukazuje lehce odlišné výsledky
Návaznosti
| GD202/03/H162, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|