ŠMÍD, Radek, Agnès GRANIER, Angelique BOUSQUET, Cartry GILLES a Lenka ZAJÍČKOVÁ. Study of magnetic field influence on charged species in a low pressure helicon reactor. Czechoslovak Journal of Physics. Praha: Institute of Physics Academy of Sciences, 2006, roč. 56, suppl. B, s. 1091-1096. ISSN 0011-4626.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Study of magnetic field influence on charged species in a low pressure helicon reactor
Název česky Studium vlivu magnetického pole na nabité částice v nízkotlakém helikonovém reaktoru
Autoři ŠMÍD, Radek (203 Česká republika, garant), Agnès GRANIER (250 Francie), Angelique BOUSQUET (250 Francie), Cartry GILLES (250 Francie) a Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika).
Vydání Czechoslovak Journal of Physics, Praha, Institute of Physics Academy of Sciences, 2006, 0011-4626.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Česká republika
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor Impact factor: 0.568
Kód RIV RIV/00216224:14310/06:00015838
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
UT WoS 000241337000008
Klíčová slova anglicky helicon reactor; argon; oxygen; electron density; ion flux
Štítky argon, electron density, helicon reactor, ion flux, Oxygen
Příznaky Mezinárodní význam, Recenzováno
Změnil Změnila: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D., učo 1414. Změněno: 17. 7. 2007 17:57.
Anotace
The variation of electron density, ion flux and emission of argon lines were investigated in a rf helicon reactor for different static magnetic field amplitude and rf power using Langmuir probe, rf coupled planar probe and optical emission spectroscopy. The static magnetic field was created by two Helmholtz coils positioned around the plasma source. Its amplitude B varied by changing the current 0-2 A through the coils from 0 to 10 mT in the helicon source, which corresponded to 0-1.4 mT in the diffusion chamber. We studied Ar and O2 discharges at 0.7 Pa with rf power 50-600 W applied to the helicon antenna. The variations of electron density, ion flux and intensity of Ar 750 nm with the rf power measured in Ar diffusion plasma were in a good agreement. Measurements in oxygen discharge showed slightly different results.
Anotace česky
Studium koncentrace elektronů, toku iontů a emisní argonové čáry v vf helikonovém reaktoru pro různé statické magnetické pole. Použité metody: Langmuirova sonda, vf planární sonda a optická emisní spektroskopie. Statické magnetické pole bylo vytvářena dvěmy cívkami okolo zdroje jehož hodnota se pohybuje od 0 do 10 mT ve zdroji a mezi 0 a 1,4 mT v difúzní komoře. Byl studován argonový a kyslíkový výboj při tlaku 0,7 Pa a vf výkonu 50-600 W v helikonové anténě. Průběhy závislostí koncentrace elektronů, toku iontů a intenzity argonové čáry 750 nm na výkonu byly v dobré shodě. Měření v kyslíkovém výboji ukazuje lehce odlišné výsledky
Návaznosti
GD202/03/H162, projekt VaVNázev: Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu
Investor: Grantová agentura ČR, Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu
MSM0021622411, záměrNázev: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
VytisknoutZobrazeno: 9. 5. 2024 06:28