Mechanical properties of nanostructured composite diamond films prepared by PECVD enhanced by RF induced DC self bias

BURŠÍKOVÁ, Vilma, Zdeněk FRGALA, Jiří BURŠÍK, Ondřej JAŠEK, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Monika KARÁSKOVÁ, Jiřina MATĚJKOVÁ, Antonín REK, Daniel FRANTA a Petr KLAPETEK. Mechanical properties of nanostructured composite diamond films prepared by PECVD enhanced by RF induced DC self bias. In E-MRS 2006 Fall meeting. 1. vyd. Warsaw: EMRS, 2006, s. 14-14. ISBN 83-89-585-09-X.

Základní údaje

Originální název

Mechanical properties of nanostructured composite diamond films prepared by PECVD enhanced by RF induced DC self bias

Název česky

Mechanické vlastnosti nanostrukturovaných kompozitních diamantových vrstev připravených plazmovou depozicí podpořenou vysokofrekvenčně indukaném stejnosměrném předpětí

Autoři

BURŠÍKOVÁ, Vilma (203 Česká republika, garant), Zdeněk FRGALA (203 Česká republika), Jiří BURŠÍK (203 Česká republika), Ondřej JAŠEK (203 Česká republika), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika), Monika KARÁSKOVÁ (203 Česká republika), Jiřina MATĚJKOVÁ (203 Česká republika), Antonín REK (203 Česká republika), Daniel FRANTA (203 Česká republika) a Petr KLAPETEK (203 Česká republika)

Vydání

1. vyd. Warsaw, E-MRS 2006 Fall meeting, od s. 14-14, 1 s. 2006

Nakladatel

EMRS

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Polsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/06:00015918

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

83-89-585-09-X

Klíčová slova anglicky

nanostructures; composites; diamond films; PECVD; RF induced DC self bias voltage

Štítky

composites, diamond films, NANOSTRUCTURES, PECVD

---

Anotace

V originále

Mechanical properties of nanostructured composite diamond films prepatred by PECVD enhanced by RF induced DC self bias

Česky

Mechanické vlastnosti nanostrukturovaných kompozitních diamantových vrstev připravených plazmovou depozicí podpořenou vysokofrekvenčně indukaném stejnosměrném předpětí

---

Návaznosti

GA106/05/0274, projekt VaV	Název: Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů Investor: Grantová agentura ČR, Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů
GA202/05/0607, projekt VaV	Název: Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi Investor: Grantová agentura ČR, Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi