Mechanical properties of thin silicon films deposited on glass and plastic substrates studied by depth sensing indentation technique

BURŠÍKOVÁ, Vilma, Petr SLÁDEK, Pavel SŤAHEL a Jiří BURŠÍK. Mechanical properties of thin silicon films deposited on glass and plastic substrates studied by depth sensing indentation technique. Journal of Non-Crystalline Solids. Nizozemsko: Elsevier Science B.V., 2006, roč. 352, 9-20, s. 1242-1245. ISSN 0022-3093.

Základní údaje

Originální název

Mechanical properties of thin silicon films deposited on glass and plastic substrates studied by depth sensing indentation technique

Název česky

Studium mechanických vlastností tenkých křemíkových vrstev deponovaných na skleněné a plastové podložky instrumentovanou indentační technikou

Autoři

BURŠÍKOVÁ, Vilma (203 Česká republika, garant, domácí), Petr SLÁDEK (203 Česká republika, domácí), Pavel SŤAHEL (203 Česká republika, domácí) a Jiří BURŠÍK (203 Česká republika)

Vydání

Journal of Non-Crystalline Solids, Nizozemsko, Elsevier Science B.V. 2006, 0022-3093

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Nizozemské království

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Impakt faktor

Impact factor: 1.362

Kód RIV

RIV/00216224:14310/06:00015920

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000238782900092

Klíčová slova anglicky

amorphous semiconductors; silicon; mechanical properties; creep; hardness; intendation; microintendation;ELASTIC-MODULUS; COATED SYSTEMS

Štítky

amorphous semiconductors, COATED SYSTEMS, Creep, ELASTIC-MODULUS, hardness, intendation, mechanical properties, microintendation, Silicon

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno

---

Anotace

V originále

This work concerns the characterisation of mechanical properties of thin amorphous and microcrystalline silicon films deposited on glass and polyethylene terephthalate substrates. The film/substrate indentation response has been investigated from the near surface up to film/substrate interface using depth sensing indentation technique. The universal hardness, Vickers hardness, elastic modulus, fracture toughness and creep resistance of the studied films have been determined. Particular attention has been paid to the effects of the flexible viscoelastic-plastic substrate on the indentation response of the film/substrate system. (c) 2006 Elsevier B.V. All rights reserved.

Česky

Studium mechanických vlastností tenkých křemíkových vrstev deponovaných na skleněné a plastové podložky instrumentovanou indentační technikou

---

Návaznosti

GA106/05/0274, projekt VaV	Název: Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů Investor: Grantová agentura ČR, Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů
GA202/05/0777, projekt VaV	Název: Plazmochemická modifikace přírodních polymerů na bázi celulózy v povrchovém nebo koplanárním bariérovém výboji za atmosférického tlaku Investor: Grantová agentura ČR, Plazmochemická modifikace přírodních polymerů na bázi celulózy v povrchovém nebo koplanárním bariérovém výboji za atmosférického tlaku