2006
Poole–Frenkel conductivity in SiOxHyCz coatings prepared by PECVD
FRANCLOVÁ, Jana a Vilma BURŠÍKOVÁZákladní údaje
Originální název
Poole–Frenkel conductivity in SiOxHyCz coatings prepared by PECVD
Název česky
Poole-Frenkelova vodivost ve vrstvách SiOxHyCz deponovaných PECVD
Autoři
FRANCLOVÁ, Jana (203 Česká republika) a Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, garant)
Vydání
Czechoslovak journal of physics, Praha, Czech republic, Institute of Physics, Acad. Sci. CR, 2006, 0011-4626
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor
Impact factor: 0.568
Kód RIV
RIV/00216224:14310/06:00017387
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000241337000017
Klíčová slova anglicky
Conductivity of thin films; Frenkel-Poole
Příznaky
Recenzováno
Změněno: 8. 2. 2008 19:22, doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.
V originále
The aim of the present work is to investigate the electrical properties of SiOxHyCz coatings prepared by PECVD from mixtures of hexamethyldisiloxane(HMDSO)and oxygen under various deposition conditions. VA characteristics of thin films were measured under various temperatures.
Česky
Cílem této práce je studovat rozdílné elektrické vlastnosti tenkých vrstev vytvořených plazmochemickou depozicí.
Návaznosti
| MSM0021622411, záměr |
|