D 2006

IN-SITU INVESTIGATIONS OF SI AND GE INTERDIFFUSION IN SIGE MULTILAYERS AND CASCADE STRUCTURES

MEDUŇA, Mojmír, Jiří NOVÁK, Václav HOLÝ, Günther BAUER, Claudiu FALUB et. al.

Základní údaje

Originální název

IN-SITU INVESTIGATIONS OF SI AND GE INTERDIFFUSION IN SIGE MULTILAYERS AND CASCADE STRUCTURES

Název česky

In-situ studie Si a Ge interdifuse v SiGe multivrstvách a kaskádových strukturách

Autoři

MEDUŇA, Mojmír (203 Česká republika, garant), Jiří NOVÁK (203 Česká republika), Václav HOLÝ (203 Česká republika), Günther BAUER (40 Rakousko), Claudiu FALUB (642 Rumunsko), Soichiro TSUJINO (392 Japonsko) a Detlev GRÜTZMACHER (276 Německo)

Vydání

Karlsruhe, XTOP 2006 - 8th Biennial Conference on High Resolution X-Ray Diffraction and Imaging, s. 124-124, 2006

Nakladatel

Forchungszentrum Karlsruhe

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Německo

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/06:00016350

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

interdiffusion; x-ray diffraction; thin films

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 24. 1. 2007 13:09, Mgr. Mojmír Meduňa, Ph.D.

Anotace

V originále

We have performed in-situ x-ray reflectivity and diffraction measurements in the range around 700 C. The Ge content profile in SiGe multilayers was used for simulating the x-ray reflectivity or diffraction spectra.

Česky

Provedli jsme in-situ měření rtg reflektivity a difrakce v oblasti teplot 700 C. Profil obsahu Ge v SiGe multivrstvách byl použit pro simulacespekter rtg reflexe a difrakce.

Návaznosti

GP202/05/P286, projekt VaV
Název: Studium morfologie polovodičových multivrstev pomocí rtg rozptylu
Investor: Grantová agentura ČR, Studium morfologie polovodičových multivrstev pomocí rtg rozptylu
MSM0021622410, záměr
Název: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur