Influence of methane on capacitively coupled oxygen discharge

DOLEŽAL, Vojtěch, Pavel DVOŘÁK a Jan JANČA. Influence of methane on capacitively coupled oxygen discharge. In 16th Symposium on Application of Plasma Processes - Book of Abstracts. Bratislava: Union of Slovak Mathematicians and Physicists, 2007, s. 149-150. ISBN 978-80-89186-13-6.

Základní údaje

Originální název

Influence of methane on capacitively coupled oxygen discharge

Název česky

Vliv metanu na kapacitně vázaný kyslíkový výboj

Autoři

DOLEŽAL, Vojtěch (203 Česká republika, garant), Pavel DVOŘÁK (203 Česká republika) a Jan JANČA (203 Česká republika)

Vydání

Bratislava, 16th Symposium on Application of Plasma Processes - Book of Abstracts, od s. 149-150, 2 s. 2007

Nakladatel

Union of Slovak Mathematicians and Physicists

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Slovensko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/07:00020196

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-80-89186-13-6

Klíčová slova anglicky

oxygen; methane; capacitively coupled; plasma

Štítky

capacitively coupled, Methane, Oxygen, plasma

---

Anotace

V originále

In this work the mixture of oxygen and a small amount (0-5%) of methane was studied. The measurements were carried out in low-pressure (6.5 Pa) capacitively coupled RF discharge. Positive ions and neutral particles were detected by mass spectrometer and ion energy analyzer. O2+ was the dominating ion in the discharge. Its amount was significantly decreased when a small amount of methane was added. H3O+ and carbon containing ions as C2H7+, CHO+ (C2H5+), CH3+ and CO+ were consequently detected. The flux of neutral particles were composed of dominant O2 which decreased with increasing amount of methane, and expected important product species as H2O, CO2 and CO.

Česky

Vliv metanu na kyslíkový kapacitně vázaný výboj byl studován pomocí hmotnostního a energiového spektrometru. Dominantním iontem ve výboji byl kyslíkový iont O2+, jehož množství bylo výrazně redukováno přidáním příměsi metanu. Dále byly detekovány především ionty C2H7+, CHO+, CH3+ a cO+, neutrálním produktům reakcí přirozeně dominovaly H2O, CO2 a CO.

---

Návaznosti

GD202/03/H162, projekt VaV	Název: Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu Investor: Grantová agentura ČR, Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu
MSM0021622411, záměr	Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek