2007
Discussion of important factors in deposition of carbon nanotubes by atmospheric pressure microwave plasma torch
JAŠEK, Ondřej, Marek ELIÁŠ, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Zuzana KUČEROVÁ, Jiřina MATĚJKOVÁ et. al.Základní údaje
Originální název
Discussion of important factors in deposition of carbon nanotubes by atmospheric pressure microwave plasma torch
Název česky
Diskuze faktorů důležitých pro depozici uhlíkových nanotrubek v mikrovlnném pochodňovém výboji za atmosférického tlaku
Autoři
JAŠEK, Ondřej (203 Česká republika, garant), Marek ELIÁŠ (203 Česká republika), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika), Zuzana KUČEROVÁ (203 Česká republika), Jiřina MATĚJKOVÁ (203 Česká republika), Antonín REK (203 Česká republika) a Jiří BURŠÍK (203 Česká republika)
Vydání
Journal of Physics and Chemistry of Solids, Oxford, Elsevier, 2007, 0022-3697
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Velká Británie a Severní Irsko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor
Impact factor: 0.899
Kód RIV
RIV/00216224:14310/07:00020347
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000247887800014
Klíčová slova anglicky
carbon nanotubes; microwave torch;
Štítky
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 22. 1. 2008 11:19, Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.
V originále
Deposition of carbon nanotubes in microwave plasma torch at atmospheric pressure is discussed in terms of factors influencing the deposition uniformity and amorphous carbon overlayer formation. The depositions were carried out on silicon substrates with a thin iron catalyst layer from the mixture of argon, methane and hydrogen. Samples were analyzed by scanning electron microscopy (SEM), transmission electron microscopy (TEM) and Raman spectroscopy. Substrate temperature gradients and a size distribution of catalytic particles were main reasons for a deposit non-uniformity. The uniformity was improved by a substrate eating in Ar/H2 discharge before the deposition. The catalyst poisoning with a subsequent amorphous carbon deposition was responsible for the formation of amorphous carbon overlayer containing catalytic particles. Shorter deposition time and optimization of carbon feedstock dilution in hydrogen were suggested for a minimization of this effect.
Česky
Depozice uhlíkových nanotrubek v mikrovlnném výboji za atmosférického tlaku je diskutována z pohledu vlivu jednotlivých faktorů ovliňujících uniformitu depozitu a vytváření vrstvy amorfního uhlíku na povrchu depozitu. Depozice byly provedeny na křemíkový substrát s katalytickou vrstvou železa ve směsi argon, metan a vodík. Vzorky byly analyzovány rastrovací (SEM) a transmisní (TEM) elektronovou mikroskopií a Ramanovskou spektroskopií. Gradient teploty subtrátu a distrubuce velikosti částic katalyzátoru byly identifikovány jako hlavní příčiny neuniformity. Zahřátí subtrátu ve výboji se směsí Ar/H2 vedlo ke zlepšení uniformity depozice. Vytvoření vrstvy amorfní uhlíkové vrstvy na nanotrubkách byly zapříčiněno otravou katalyzátoru a následnou depozicí amorfního uhlíku na nanočásticách železa na vrcholech nanotrubek. Jako možné řešení tohoto problému se jeví zkrácení depoziční doby a větší zředění metanu ve směsi s vodíkem.
Návaznosti
| GA202/05/0607, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|