Determination of electron temperature in neon RF discharge by means of collisional-radiative model

NAVRÁTIL, Zdeněk, Oto BRZOBOHATÝ, David TRUNEC, Radek ŠMÍD a Lukáš LAZAR. Determination of electron temperature in neon RF discharge by means of collisional-radiative model. In SCHMIDT, J, J ŠIMEK, S PEKÁREK a V PRUKNER. Proceedings of ICPIG XXVIII. 1. vyd. Praha: Institute of Plasma Physics AS CR, 2007, s. 1618-1620. ISBN 978-80-87026-01-4.

Základní údaje

Originální název

Determination of electron temperature in neon RF discharge by means of collisional-radiative model

Název česky

Stanovení teploty elektronů v RF výboji v neonu pomocí srážkově-radiačního modelu

Autoři

NAVRÁTIL, Zdeněk (203 Česká republika, garant), Oto BRZOBOHATÝ (203 Česká republika), David TRUNEC (203 Česká republika), Radek ŠMÍD (203 Česká republika) a Lukáš LAZAR (203 Česká republika)

Vydání

1. vyd. Praha, Proceedings of ICPIG XXVIII, od s. 1618-1620, 3 s. 2007

Nakladatel

Institute of Plasma Physics AS CR

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Slovensko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/07:00020430

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-80-87026-01-4

Klíčová slova anglicky

neon RF discharge; optical emission spectroscopy; collisional-radiative model

Štítky

collisional-radiative model, neon RF discharge, optical emission spectroscopy

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno

---

Anotace

V originále

A collisional-radiative model was used to determine the electron temperature in capacitively coupled RF (13.56 MHz) discharge in neon. Two discharge regimes at different pressures were investigated. The temperature was determined from the fit of the theoretical spectra to the spectra measured by optical emission spectroscopy. Three kinds of electron distribution function - Maxwellian, Bi-Maxwellian and Pseudo-Bi-Maxwellian - were considered. The results were compared with Particle-in-Cell/ Monte-Carlo simulation. The comparison of the fitted calculated and measured spectra shows a good agreement between the theory and experiment. The electron temperature, which was estimated from the fits, was approx. 6 eV in the sheath at neon pressure of 10 Pa and approx. 2 eV in the bulk plasma at neon pressure of 80 Pa.

Česky

Teplota elektronů v kapacitně vázaném RF výboji v neonu byla stanovena pomocí srážkověradiačního modelu. Byly zkoumány dva režimy výboje při různých tlacích (10 a 80 Pa). Byly uvažovány tři druhy rozdělovací funkce elektronů. Výsledky byly porovnány se simulací PIC/MC.

---

Návaznosti

GA202/03/0776, projekt VaV	Název: Magnetooptické jevy v magnetických nanostrukturách
GA202/06/0776, projekt VaV	Název: Pokročilý výzkum a vývoj zdrojů nízkoteplotního plazmatu Investor: Grantová agentura ČR, Pokročilý výzkum a vývoj zdrojů nízkoteplotního plazmatu
GA202/06/1473, projekt VaV	Název: Depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích za atmosférického tlaku Investor: Grantová agentura ČR, Depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích za atmosférického tlaku
MSM0021622411, záměr	Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek