D 2007

Deposition and analysis of thin films produced in atmospheric pressure glow discharge

ŠÍRA, Martin, Vilma BURŠÍKOVÁ, Daniel FRANTA a David TRUNEC

Základní údaje

Originální název

Deposition and analysis of thin films produced in atmospheric pressure glow discharge

Název česky

Depozice a analýza tenkých vrstev vytořených v atmosférickém doutnavém výboji

Autoři

ŠÍRA, Martin (203 Česká republika, garant), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika), Daniel FRANTA (203 Česká republika) a David TRUNEC (203 Česká republika)

Vydání

Praha, Proceedings of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases, od s. 713-716, 4 s. 2007

Nakladatel

J.Schmidt, M. Šimek, S.Pekárek, V.Prukner

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/07:00020440

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-80-87026-01-4

Klíčová slova anglicky

atmospheric pressure glow discharge thin films

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 6. 9. 2007 11:08, Mgr. Martin Šíra, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

The atmospheric pressure glow discharge was used for the deposition of thin organosilicon polymer films. The plasma was burning in pure nitrogen used as a carrier gas and a small admixture of organosilicons compounds such as hexamethyldisilazane (HMDSN) or hexamethyldisiloxane (HMDSO) was used as a monomer. The temperature of the substrate was elevated up to 120 C to obtain harder thin films. The homogeneity of thin films was enhanced using movable upper electrode. Electrical measurements were used to distinguish between glow and filamentary regime. Mechanical properties of deposited films were characterised by depth sensing indentation technique. The films were polymer-like, transparent in visible range, with uniform thickness and without pinholes.

Česky

Tenké polymerní organosilikonové vrstvy byly deponovány v atmosférickém doutnavém výboji. Výboj byl zapálen v dusíku s malou příměsí hexamethyldisiloxanu. Teplota substrátu byla zvýšena až na 120 stupňů celsia za účelem zvýšení tvrdosti vrstev. Mezi doutnavým a filamentním výbojem bylo rozlišováno pomocí měření elektrických veličin. Mechanické vlastnosti vrstev byly určeny mikrotvrdoměrem. Vrstvy byly polymerního charakteru, průhledné v optickém spektru s uniformní tloušťkou a nízkou drsností.

Návaznosti

GA202/06/1473, projekt VaV
Název: Depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích za atmosférického tlaku
Investor: Grantová agentura ČR, Depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích za atmosférického tlaku