D 2007

Gas Pressure Sensor Based on PECVD Grown Carbon Nanotubes

FICEK, Richard, Marek ELIÁŠ, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Ondřej JAŠEK, Radimir VRBA et. al.

Základní údaje

Originální název

Gas Pressure Sensor Based on PECVD Grown Carbon Nanotubes

Název česky

Senzor tlaku s použitím uhlíkových nanotrubek připravených metodou PECVD

Autoři

FICEK, Richard (203 Česká republika), Marek ELIÁŠ (203 Česká republika), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika, garant), Ondřej JAŠEK (203 Česká republika) a Radimir VRBA (203 Česká republika)

Vydání

1. vyd. Warrendale, PA, USA, Applications of Nanotubes and Nanowires MRS Proceedings Volume 1018E, od s. 1018-EE14-05, 5 s. 2007

Nakladatel

Materials Research Society

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

Kód RIV

RIV/00216224:14310/07:00020711

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

gas pressure sensor; carbon nanotubes

Štítky

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 9. 1. 2008 11:25, doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

In this paper the development and fabrication of the pressure sensor based on electron field emission from carbon nanotubes (CNTs) was described. The sensor consisted of two parts: a silicon membrane as an anode; and multi-walled CNTs on a silicon cathode, creating a vacuum micro-chamber. Both electrodes were fabricated from the silicon single crystal (Si) wafer of an orientation 100 doped by phosphorus. The CNTs were grown by a plasma enhanced CVD using an iron catalyst in an atmospheric pressure microwave torch. The catalyst was patterned into an area corresponding to the membrane dimensions. The thin CNTs with a diameter of about 80 nm were standing vertically perpendicular to the substrate due to a crowding effect. In order to find the threshold current, the emission characteristics of prepared sensors were measured.

Česky

Tento článek popisuje vývoj a připravu senzoru tlaku založeného na autoemsních vlastnostech uhlíkových nanotrubek (CNTs). Senzor se skládá ze dvou částí: křemíkové membrány tvořící anodu; a vrstvy vícestěnných nanotrubek na křemíkové katodě. Tyto dvě elektrody spolu tvoří evakuovanou mikrokomůrku. Obě elektrody jsou připraveny z křemíkové desky s orientací 100 dopované fosforem. Uhlíkové nanotrubky byly připraveny metodou PECVD v mikrovlnném výboji za atmosférického tlaku. Jako katalyzátor bylo použito železo. Katalazátor byl za pomoci masky nanesen na plochu odpovídající rozměrům membrány. Po depozici se na subtrátu nacházela vertikálně uspořádaná vrstva uhlíkových nanotrubek s průmerem asi 80 nm. Uspořádání vrstvy je způsobeno tzv. crowding efektem. Za účelem určení prahového proudu byly naměřeny autoemisní charakteristiky vyrobeného senzoru.

Návaznosti

GA202/05/0607, projekt VaV
Název: Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi
Investor: Grantová agentura ČR, Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi
GD102/03/H105, projekt VaV
Název: Moderní metody řešení, návrhu a aplikace elektronických obvodů
GP202/07/P523, projekt VaV
Název: Plazmochemická depozice (PECVD) uhlíkových nanotrubek
Investor: Grantová agentura ČR, Plazmochemická depozice (PECVD) uhlíkových nanotrubek
MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
MSM0021630503, záměr
Název: Nové trendy v mikroelektronických systémech a nanotechnologiích (MIKROSYN)
2A-1TP1/143, projekt VaV
Název: Výzkum nových mechatronických struktur MEMS využitelných pro měření tlaku.