J 2007

Deposition and Characterization of Nanostructured Silicon-Oxide Containing Diamond-Like Carbon Coatings

BURŠÍKOVÁ, Vilma, Pavel DVOŘÁK, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Daniel FRANTA, Jan JANČA et. al.

Základní údaje

Originální název

Deposition and Characterization of Nanostructured Silicon-Oxide Containing Diamond-Like Carbon Coatings

Název česky

Depozice a charakterizace nanostrukturovaných diamantu-podobných uhlíkových vrstev obsahujících oxid křemíku

Autoři

BURŠÍKOVÁ, Vilma (203 Česká republika, garant), Pavel DVOŘÁK (203 Česká republika), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika), Daniel FRANTA (203 Česká republika), Jan JANČA (203 Česká republika), Jiří BURŠÍK (203 Česká republika), Jaroslav SOBOTA (203 Česká republika), Petr KLAPETEK (203 Česká republika), Olga BLÁHOVÁ (203 Česká republika) a Vratislav PEŘINA (203 Česká republika)

Vydání

Optoelectronics and Advanced Materials - Rapid Communications, Bucharest, INOE & INFM, 2007, 1842-6573

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Rumunsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/07:00020754

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000253725400002

Klíčová slova anglicky

Nanostructured coatingsů;DLC;Hardness;Adhesion;Fracture toughness

Štítky

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 3. 1. 2011 11:26, doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

Nanostructured diamond-like carbon coatings with various silicon-oxide content were deposited on different substrate materials (silicon, glass, polycarbonate and steel) in capacitively coupled r.f. discharge (13.56 MHz). The structure of the prepared films was studied with infrared absorption spectroscopy (FTIR) and X-ray photoelectron spectroscopy. Complete atomic compositions, including hydrogen content and film densities, were determined by combination of RBS and ERD analyses. The complex dielectric function of the films was determined from ellipsometric measurements in the range 1.5-5.2 eV. Matrix Assisted Laser Desorption-Ionisation - Time of Flight Mass Spectrometry (MALDI-TOF) was used to study the deposited films. The mechanical properties of prepared coatings (e.g. hardness, elastic modulus, fracture toughness, coating/substrate adhesion etc.) were studied by means of depth sensing indentation technique using Fischerscope H100 tester. The tribological properties were studied using CSM pin-on-disc tester. The effect of intrinsic stress on the coating properties was investigated. The variation in SiOx content enabled to minimize the intrinsic compressive stress in coatings. Analysis of the evolved crack morphology by means of optical microscopy, scanning electron microscopy (SEM) and atomic force microscopy (AFM) revealed a significant increase in interfacial fracture toughness for the DLC:SiOx films compared to the pure DLC films. On the basis of above described investigation nanocomposite multilayer coatings with enhanced mechanical properties (high hardness, adhesion, fracture toughness, low intrinsic stress) were designed.

Česky

Nanostrukturované diamantu-podobné uhlíkové vrstvy s různým obsahem oxidu křemíku.

Návaznosti

GA106/05/0274, projekt VaV
Název: Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů
Investor: Grantová agentura ČR, Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů
MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
1K05025, projekt VaV
Název: Příprava nových Si-O(N)-C materiálů plazmochemickou metodou
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Příprava nových Si-O(N)-C materiálů plazmochemickou metodou