2007
Atomic force microscopy studies of cross-sections of columnar films
KLAPETEK, Petr, Ivan OHLÍDAL a Jiří BURŠÍKZákladní údaje
Originální název
Atomic force microscopy studies of cross-sections of columnar films
Název česky
Studie řezů sloupcových vrstev pomocí mikroskopie atomové síly
Autoři
KLAPETEK, Petr, Ivan OHLÍDAL a Jiří BURŠÍK
Vydání
Measurement Science and Technology, Bristol, England, IOP Publishing, 2007, 0957-0233
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Velká Británie a Severní Irsko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor
Impact factor: 1.297
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000243728700029
Klíčová slova anglicky
atomic force microscopy, columnar structure
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 7. 3. 2008 11:10, prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.
V originále
In this paper, the columnar structure of TiO2 and HfO2 thin films prepared on silicon wafers is studied using two modifications of atomic force microscopy (AFM), i.e., by standard AFM and micro-hardness modification of AFM. These methods are applied to the cross-sections of the films created by fracturing samples consisting of substrates covered with the films under investigation. It is shown that the edge of the film in the cross-section does not cause an obstacle for scanning the AFM images corresponding to both the AFM modifications mentioned above. In this paper it is also shown that the micro-hardness contrast mode of AFM is the more useful technique for imaging the columnar structure of films than standard AFM when film cross-sections exhibit artificial defects originated as a consequence of fracturing the films.
Česky
V tomto článku jsou pomocí dvou modifikací míkroskopie atomové síly (AFM), tj. standardní AFM a mikrotvrdostní modifikací AFM, studovány sloupcové struktury tenkých vrstev TiO2 a HfO2 připravené na křemíkových waferech. Tyto metody jsou použity na řezy tenkých vrstev, které byly vytvořeny lámáním vzorků sestávajících se z podložek pokrytých studovanými vrstvami. Je ukázáno, že hrany vrstev v řezu nepředstavují překážku při skenování AFM obrazů ani pro jednu modifikaci AFM zmíněnou výše. V tomto článku je též ukázáno, že mód kontrastu mikrotvrdosti AFM je pro studium sloupcové struktury tenkých vrstev užitečnější technika než standardní AFM, vykazují-li řezy umělé vady vzniklé v důsledku lámání vrstev.
Návaznosti
| MSM0021622411, záměr |
|