2007
Scanning probe microscopy analysis of delaminated thin films
KLAPETEK, Petr, Vilma BURŠÍKOVÁ a Miroslav VALTRZákladní údaje
Originální název
Scanning probe microscopy analysis of delaminated thin films
Název česky
Analýza tenkých delaminovaných vrstev pomocí SPM
Autoři
KLAPETEK, Petr (203 Česká republika), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, garant) a Miroslav VALTR (203 Česká republika)
Vydání
Journal of Physics: Conference Series, Institute of Physics (IoP), 2007, 1742-6588
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Velká Británie a Severní Irsko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV
RIV/00216224:14310/07:00020963
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000291445400116
Klíčová slova anglicky
Scanning probe microscopy; delaminatio; thin films
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 16. 3. 2008 14:29, doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.
Anotace
V originále
In this article the results of atomic force microscopy (AFM) and scaning thermal microscopy (SThM) of delaminated thin films are presented. It is shown that SThM data can be used for a very precise localisation of the delaminated areas that is necessary for the analysis of film material properties. Moreover, by using AFM it is also possible to characterize morphology of the blister upper boundary with a high resolution too. The quantitative results obtained by the above mentioned methods are compared with nanoindentation measurements.
Návaznosti
| GA106/05/0274, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|