2008
In-situ spectroscopic ellipsometry: optimization of monitoring and closed-loop-control procedures
HUMLÍČEK, JosefZákladní údaje
Originální název
In-situ spectroscopic ellipsometry: optimization of monitoring and closed-loop-control procedures
Název česky
In-situ spectroscopická elipsometie: optimmalizace of monitorovacích a řídicích procedur
Autoři
HUMLÍČEK, Josef (203 Česká republika, garant, domácí)
Vydání
physica status solidi (a), Applied research, Berlin, Akademie-Verlag, 2008, 1862-6300
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Německo
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor
Impact factor: 1.205
Kód RIV
RIV/00216224:14310/08:00025835
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000255702600018
Klíčová slova anglicky
in situ ellipsometry; monitoring; closed loop control
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 3. 1. 2011 14:53, prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc.
V originále
We discuss optimized extraction of information contained in a series of complex reflectance ratios in a series of consecutive, in-situ SE measurements during the growth of thin films. We present a general computational scheme and discuss guidelines for the optimum data treatment. As an example, we analyze several hundreds of spectra recorded during the growth of diamond-like carbon on TiCN/steel substrate.
Česky
Diskutujeme optimalizovanou extrakci informace obsažené v serii komplexních poměrů odrazivostí z in situ elipsometrických měření pořízených během růstu tenkých vrstev. Předkládáme obecné výpočetní schema a diskutujeme vodítka pro optimální zacházení s daty. Jako příklad uvádíme analýzu nekolika stovek spekter zaznamenaných při růstu diamantu podobných uhlíkových vrstev na sustrátech ocel/TiN.
Návaznosti
| MSM0021622410, záměr |
|