Measurement of ions in H2 - N2 capacitively coupled discharge

DVOŘÁK, Pavel a Jan JANČA. Measurement of ions in H2 - N2 capacitively coupled discharge. In Proceedings of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases. Praha: J. Schmidt, M. Šimek, S. Pekárek, V. Prukner, 2007, s. 5P09-29, 2 s. ISBN 978-80-87026-01-4.

Základní údaje

Originální název

Measurement of ions in H2 - N2 capacitively coupled discharge

Název česky

Měření iontů v kapacitně vázaném výboji buzeném ve směsi vodíku a dusíku

Autoři

DVOŘÁK, Pavel (203 Česká republika, garant) a Jan JANČA (203 Česká republika)

Vydání

Praha, Proceedings of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases, od s. 5P09-29, 2 s. 2007

Nakladatel

J. Schmidt, M. Šimek, S. Pekárek, V. Prukner

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/07:00023975

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-80-87026-01-4

Klíčová slova anglicky

ions; plasma ; capacitively coupled; hydrogen; nitrogen

Štítky

capacitively coupled, Hydrogen, ions, Nitrogen, plasma

---

Anotace

V originále

Neutral molecules and especially positive ions and their energy distributions were measured in low-pressure (ca 4 Pa) high frequency (13,56 MHz) capacitively coupled discharge ignited in the mixtures of hydrogen and nitrogen. Especially, the hydrogen-rich mixtures were investigated. Firstly, the energy dependence of the spectrometer was calculated and the ion energy distributions were corrected. The dominant ions were H3+ and HN2+. Ions without hydrogen (N2+ and N+) were significant only at low hydrogen concentration (less than 10%). Also a high amount of ions NH4+ was detected. The nitrogen addition caused a quite steep decrease of the dominant hydrogen ion H3+. Further, an unusual behaviour of NH4+ and H+ was observed. Concerning creation of neutral stable molecules, only a small amount of ammonia was detected.

Česky

Byly měřeny relativní koncentrace kladných iontů a neutrálních molekul v nízkotlakém kapacitně vázaném plazmatu buzeném ve směsi vodíku a dusíku, zejména ve směsích s převahou vodíku. Dominantními ionty byly částice H3+ a N2H+, ve velkém množství byly přítomné i amonné ionty NH4+.

---

Návaznosti

MSM0021622411, záměr

Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek